绍兴中芯集成电路制造股份有限公司鲁列微获国家专利权
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龙图腾网获悉绍兴中芯集成电路制造股份有限公司申请的专利光罩、半导体结构及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115196588B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210860060.5，技术领域涉及：B81C1/00；该发明授权光罩、半导体结构及其制备方法是由鲁列微;徐泽洋设计研发完成，并于2022-07-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本光罩、半导体结构及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种光罩、半导体结构及其制备方法。光罩包括：光罩主体；背孔图形，位于所述光罩主体内；多个支撑轴图形，位于所述背孔图形内；各所述支撑轴图形的一端均相连接，各所述支撑轴图形的另一端分别与所述背孔图形的边缘相连接；所述支撑轴图形包括主体部和端部，所述端部位于所述主体部两端，与所述主体部一体连接，所述端部的宽度小于所述主体部的宽度。本发明能够避免MEMS器件在形成空腔的过程中的牺牲层释放不完全。
本发明授权光罩、半导体结构及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种光罩，其特征在于，所述光罩包括： 光罩主体； 背孔图形，位于所述光罩主体内； 多个支撑轴图形，位于所述背孔图形内；各所述支撑轴图形的一端均相连接，各所述支撑轴图形的另一端分别与所述背孔图形的边缘相连接；各所述支撑轴图形均呈纺锤形，所述支撑轴图形包括主体部和端部，所述端部位于所述主体部两端，与所述主体部一体连接，所述端部的宽度小于所述主体部的宽度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人绍兴中芯集成电路制造股份有限公司，其通讯地址为：312000 浙江省绍兴市越城区皋埠镇临江路518号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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