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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底对位装置、衬底处理装置、衬底对位方法及衬底处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115602596B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210790732.X，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权衬底对位装置、衬底处理装置、衬底对位方法及衬底处理方法是由冲田展彬;筱原智之;石井淳一;中村一树;筱原敬;髙桥拓马;冈田吉文;加藤洋设计研发完成，并于2022-07-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本衬底对位装置、衬底处理装置、衬底对位方法及衬底处理方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种衬底对位装置、衬底处理装置、衬底对位方法及衬底处理方法。衬底对位装置包含以俯视下相互对向的方式且分开的方式配置，分别从衬底的下方位置支撑衬底的外周端部的第1支撑部件及第2支撑部件。另外，衬底对位装置具备：第1按压部件，以俯视下与第1支撑部件对向的方式配置，在衬底由第1及第2支撑部件支撑的状态下，在从第2支撑部件朝向第1支撑部件的第1方向按压所述衬底的外周端部的一部分，由此使衬底移动。第1支撑部件包含限制衬底超过预先确定的规定位置向第1方向移动的移动限制部。

本发明授权衬底对位装置、衬底处理装置、衬底对位方法及衬底处理方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底对位装置，其是进行衬底的对位的衬底对位装置，且具备： 第1及第2支撑部件，以俯视下相互对向的方式且分开的方式配置，分别从所述衬底的下方的位置支撑所述衬底的外周端部； 第1按压部件，以俯视下与所述第1支撑部件对向的方式配置，在所述衬底由所述第1及第2支撑部件支撑的状态下，在从所述第2支撑部件朝向所述第1支撑部件的第1方向按压所述衬底的外周端部的一部分，由此使所述衬底在所述第1及第2支撑部件上移动； 第1按压驱动部，驱动所述第1按压部件； 第2按压部件，以俯视下与所述第2支撑部件对向的方式配置，在与所述第1方向相反的第2方向按压所述衬底的外周端部的其它部分； 第2按压驱动部，驱动所述第2按压部件；及 控制部；且 所述第1支撑部件包含限制所述衬底超过预先确定的规定位置向所述第1方向移动的移动限制部， 所述控制部 在所述移动限制部位于所述规定位置的状态下，通过控制所述第1按压驱动部，使支撑在所述第1及第2支撑部件上的所述衬底在所述第1方向移动，并使所述衬底的所述其它部分抵接于所述移动限制部， 在所述衬底的所述其它部分抵接于所述移动限制部之后，在由所述第1及第2支撑部件支撑的所述衬底的所述一部分被所述第1按压部件按压的状态下，通过控制所述第2按压驱动部，使所述第2按压部件在所述第2方向按压所述衬底的外周端部的所述其它部分。

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