苏州腾晖光伏技术有限公司张树德获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州腾晖光伏技术有限公司申请的专利一种MWT电池刻蚀方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115116841B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210739453.0，技术领域涉及：H01L21/306；该发明授权一种MWT电池刻蚀方法是由张树德;刘玉申;钱洪强;况亚伟;周海龙;任慧雪;荆蓉蓉;张俊巍设计研发完成，并于2022-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MWT电池刻蚀方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种MWT电池刻蚀方法，属于电池制备技术领域。是将磷扩散后的硅片进行刻蚀工序，其中，硅片的正面由于磷扩散步骤形成有磷硅玻璃。本申请在刻蚀工序通过喷膜装置喷出硝酸溶液，使硅片的正面被硝酸溶液覆盖形成硝酸溶液膜；硅片放置在滚轮上移动，硅片的背面和侧面与刻蚀溶液反应，去除所述硅片背面和侧面的PN结。喷膜装置使得硅片表面形成有硝酸溶液膜，硅片表面由于形成有磷硅玻璃，则硝酸溶液不会对硅片表面进行腐蚀。硝酸溶液通过硅片上的穿孔穿过时，且由于滴漏的是硝酸溶液，不会稀释刻蚀溶液，即不会影响刻蚀效果，进而解决刻蚀拖尾现象。而本申请的方法仅将常规技术中的水膜变成硝酸溶液膜，无需增加步骤和新的设备，成本低。
本发明授权一种MWT电池刻蚀方法在权利要求书中公布了：1.一种MWT电池刻蚀方法，其特征在于，将磷扩散后的硅片进行刻蚀工序，其中，所述硅片的正面设置有磷硅玻璃，所述刻蚀工序中将硅片放置在滚轮上使所述硅片与滚轮相对移动，在所述硅片上方设置有喷膜装置，所述喷膜装置喷出硝酸溶液，使所述硅片的正面被硝酸溶液覆盖形成硝酸溶液膜；所述硅片的背面和侧面与刻蚀溶液反应，去除所述硅片背面和侧面的PN结； 所述刻蚀溶液为硝酸和氢氟酸的混合溶液A，所述硝酸为68%硝酸； 所述喷膜装置喷出的硝酸溶液为68%硝酸。
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