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龙图腾网获悉南京航空航天大学申请的专利一种抗高剂量伽马射线辐射和耐高温的柔性铁电外延薄膜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115000290B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210580006.5，技术领域涉及：H10N30/076；该发明授权一种抗高剂量伽马射线辐射和耐高温的柔性铁电外延薄膜是由刘亚静;李伟伟;杨浩设计研发完成，并于2022-05-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种抗高剂量伽马射线辐射和耐高温的柔性铁电外延薄膜在说明书摘要公布了：本发明提供一种抗高剂量伽马射线辐射和耐高温的柔性铁电PbZr0.53Ti0.47O3外延薄膜，该薄膜通过以下方法制备：S1、以BaTiO3BTO、SrRuO3SRO、Pb1.1Zr0.53Ti0.47O3PZT靶材作为生长源，将云母粘在基片托上烘干，作为衬底；将生长源和衬底置于腔内，并抽真空；S2、启动加热系统加热炉体后，打开氧气进气阀门，固定氧气分压在0.1mbar，打开krF激光出光，调整激光打在BTO和SRO靶材上的能量密度为1.1J·cm‑2，频率为3Hz，依次生长BTO缓冲层和SRO底电极层；S3、BTO和SRO层沉积结束后，继续升温并将氧气分压固定在0.15mbar，激光能量密度固定在1.36J·cm‑2，频率为4Hz，沉积PZT铁电层；S4、PZT铁电层沉积结束后，PZTSROBTO云母薄膜在5mbar的氧气分压下原位退火15分钟，然后自然冷却降至室温。

本发明授权一种抗高剂量伽马射线辐射和耐高温的柔性铁电外延薄膜在权利要求书中公布了：1.一种抗高剂量伽马射线辐射和耐高温的柔性铁电PbZr0.53Ti0.47O3外延薄膜，其特征在于，通过以下方法制备： S1、以BaTiO3、SrRuO3、Pb1.1Zr0.53Ti0.47O3靶材作为生长源，将云母粘在基片托上烘干，作为衬底；将生长源和衬底置于腔内，并抽真空； S2、启动加热系统加热基片托至基片表面温度达630℃，打开氧气进气阀门，固定氧气分压在0.1mbar，打开krF激光出光，调整激光打在BTO和SRO靶材上的能量密度为1.1J·cm-2，频率为3Hz，依次生长BTO缓冲层和SRO底电极层； S3、BTO和SRO层沉积结束后，继续升温至基片表面温度达650℃并将氧气分压固定在0.15mbar，激光能量密度固定在1.36J·cm-2，频率为4Hz，沉积PZT铁电层，得到PZTSROBTO云母薄膜； S4、PZT铁电层沉积结束后，PZTSROBTO云母薄膜在5mbar的氧气分压下原位退火15分钟，然后冷却降至室温。

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