应用材料公司杨扬获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于基板处理的脉冲电压增压获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115868003B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202280005624.5，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权用于基板处理的脉冲电压增压是由杨扬;郭岳;K·拉马斯瓦米设计研发完成，并于2022-05-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于基板处理的脉冲电压增压在说明书摘要公布了：本文提供的实施例大体包括用于提升处理腔室中电极电压的设备、等离子体处理系统和方法。示例等离子体处理系统包括处理腔室、多个开关、设置在处理腔室中的电极、电压源和电容元件。电压源经由多个开关中的一个开关选择性地耦合到电极。电容元件经由多个开关中的一个开关选择性地耦合到电极。电容元件和电压源并联耦合到电极。多个开关被配置成在第一阶段期间将电容元件和电压源耦合到电极，在第二阶段期间将电容元件和电极耦合到接地节点，并且在第三阶段期间将电容元件耦合到电极。
本发明授权用于基板处理的脉冲电压增压在权利要求书中公布了：1.一种处理基板的方法，包括以下步骤： 在第一阶段期间，将电容元件和电压源耦合到设置在处理腔室内的电极，其中所述电容元件和所述电压源并联耦合到所述电极； 在第二阶段期间将所述电容元件和所述电极耦合到接地节点；以及 在第三阶段期间，将所述电容元件耦合到所述电极，并将所述电极从所述接地节点解耦。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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