中国电子科技集团公司第四十一研究所于怡然获国家专利权
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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第四十一研究所申请的专利一种灵敏度增强型热偶功率传感芯片及传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114705907B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210339174.5，技术领域涉及：G01R21/02；该发明授权一种灵敏度增强型热偶功率传感芯片及传感器是由于怡然;张亭;韩顺利;杨锦鹏设计研发完成，并于2022-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种灵敏度增强型热偶功率传感芯片及传感器在说明书摘要公布了：本发明提供了一种灵敏度增强型热偶功率传感芯片及传感器，包括：衬底，所述衬底的上方设有热电堆，所述热电堆的上方设有共面波导，所述共面波导的上方设有石英介质片，所述共面波导连接负载终端；通过在所述共面波导上方设置石英介质，以增加热流通路，实现所述传感器灵敏度的提高。
本发明授权一种灵敏度增强型热偶功率传感芯片及传感器在权利要求书中公布了：1.一种灵敏度增强型热偶功率传感芯片，其特征在于，包括：衬底，所述衬底的上方设有热电堆，所述热电堆的上方设有共面波导，所述共面波导的上方设有石英介质片，所述共面波导连接负载终端； 所述热电堆包括若干个串联连接的热电偶，热电堆对称分布在负载终端周围；所述热电偶的热端置于薄膜电阻附近并不超过接地板的内轮廓边缘，所述热电偶的冷端超过接地板的外轮廓边缘； 通过在所述共面波导上方设置石英介质片，以增加热流通路，实现传感器灵敏度的提高；所述石英介质片的边沿覆盖热电偶的热端； 所述共面波导包括中央导带线和接地板，所述中央导带线末端连接负载终端，共面波导与负载终端相连而且两者是阻抗匹配；所述负载终端为串联排布的若干个薄膜电阻； 所述接地板上设有若干接地板金属孔，等效增大热偶区域内阻，增大热偶功率传感芯片的温度差。
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