绍兴中芯集成电路制造股份有限公司熊俊剑获国家专利权
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龙图腾网获悉绍兴中芯集成电路制造股份有限公司申请的专利芯片筛选方法、系统、计算机设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114628267B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210103230.5，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权芯片筛选方法、系统、计算机设备及存储介质是由熊俊剑;高冰玲设计研发完成，并于2022-01-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本芯片筛选方法、系统、计算机设备及存储介质在说明书摘要公布了：本发明公开了一种芯片筛选方法、系统、计算机设备及存储介质，芯片筛选方法包括：获取晶圆的扫描缺陷图，扫描缺陷图为以预设扫描方式扫描晶圆上至少一个芯片获取，扫描缺陷图包括测试结构及与测试结构相连的伪不良芯片；获取具有单个图示重复单元的标准影像图；根据扫描缺陷图采用预设图示重复单元菜单程序，生成至少一个光罩影像图，光罩影像图与图示重复单元一一对应，图示重复单元内具有至少一个芯片；根据标准影像图与各光罩影像图的比较结果，判断伪不良芯片是否为合格芯片，有效过滤切割道测试结构，避免无缺陷的伪不良芯片被误抓，极大提高产品出货良率。
本发明授权芯片筛选方法、系统、计算机设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种芯片筛选方法，其特征在于，包括： 获取晶圆的扫描缺陷图，所述扫描缺陷图为以预设扫描方式扫描所述晶圆上至少一个芯片获取，所述扫描缺陷图包括测试结构及与所述测试结构相连的伪不良芯片，测试结构位于所述晶圆的切割道上； 获取具有单个图示重复单元的标准影像图，多个图示重复单元将晶圆上所有芯片均匀等分，各图示重复单元内的芯片数量相同，标准影像图中测试结构的数量与光罩影像图中测试结构的数量相同，及标准影像图中测试结构的位置与光罩影像图的测试结构的位置相同； 根据所述扫描缺陷图采用预设图示重复单元菜单程序，生成至少一个光罩影像图，所述光罩影像图与所述图示重复单元一一对应，所述图示重复单元内具有至少一个芯片； 根据所述标准影像图与各所述光罩影像图的比较结果，判断所述伪不良芯片是否为合格芯片。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人绍兴中芯集成电路制造股份有限公司，其通讯地址为：312000 浙江省绍兴市越城区皋埠镇临江路518号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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