绍兴中芯集成电路制造股份有限公司项少华获国家专利权
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龙图腾网获悉绍兴中芯集成电路制造股份有限公司申请的专利体声波器件及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114465588B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111676881.5，技术领域涉及：H03H3/02；该发明授权体声波器件及其制作方法是由项少华;王冲;陈国基;刘国安设计研发完成，并于2021-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本体声波器件及其制作方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种体声波器件及其制作方法，其中体声波器件的制作方法包括：提供基底，基底具有发射器件区与接收器件区；于基底上形成第一功能层，第一功能层至少覆盖发射器件区与接收器件区；于第一功能层上形成刻蚀停止层；于刻蚀停止层上形成第二功能材料层；基于刻蚀停止层，去除对应接收器件区的第二功能材料层，剩余的第二功能材料层构成第二功能层，第二功能层与第一功能层共同形成功能结构层，体声波器件的压电层或者底电极层或者顶电极层包括该功能结构层。本申请可以有效降低体声波器件的制作成本。
本发明授权体声波器件及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种体声波器件的制作方法，其特征在于，包括： 提供基底，所述基底具有发射器件区与接收器件区； 于所述基底上形成第一功能层，所述第一功能层至少覆盖所述发射器件区与所述接收器件区； 于所述第一功能层上形成刻蚀停止层； 于所述刻蚀停止层上形成第二功能材料层； 基于所述刻蚀停止层，去除所述接收器件区上的第二功能材料层，剩余的所述第二功能材料层构成第二功能层，所述第二功能层与所述第一功能层共同形成功能结构层； 其中，所述体声波器件的压电层或者底电极层或者顶电极层包括所述功能结构层。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人绍兴中芯集成电路制造股份有限公司，其通讯地址为：312000 浙江省绍兴市越城区皋埠镇临江路518号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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