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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利用于处理基板的装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114695197B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111651064.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于处理基板的装置是由金周援;柳杨烈;安熙满;徐准浩;朴崠云;尹相弼设计研发完成，并于2021-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于处理基板的装置在说明书摘要公布了：提供了一种用于处理基板的装置。该装置包括：第一处理单元，其被配置为具有第一处理容器和第一支承单元并被配置为处理基板；第二处理单元，其被配置为具有第二处理容器和第二支承单元并被配置为处理基板；和排放单元，其被配置为将第一处理容器的第一内部空间和第二处理容器的第二内部空间进行排放，其中第一处理单元和第二处理单元布置成一行，其中排放单元包括集成管道、第一排放管和第二排放管，其中集成管道包括被配置为分隔集成管道中的排放路径的第一壁构件，第一壁构件在第一位置与第二位置之间起始并沿着排放路径的排放方向延伸，并且其中第一壁构件分隔设置为与第一排放管流通的第一排放路径和设置为与第二排放管流通的第二排放路径。

本发明授权用于处理基板的装置在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的装置，所述装置包括： 第一处理单元，所述第一处理单元包括第一处理容器，所述第一处理容器被配置为具有第一内部空间以及第一支承单元，其中，所述第一支承单元在所述第一内部空间中支承并旋转所述基板； 第二处理单元，所述第二处理单元包括第二处理容器，所述第二处理容器被配置为具有第二内部空间以及第二支承单元，其中，所述第二支承单元在所述第二内部空间中支承并旋转所述基板；以及 排放单元，所述排放单元被配置为将所述第一内部空间和所述第二内部空间进行排放， 其中，所述第一处理单元和所述第二处理单元沿单元布置方向布置， 其中，所述排放单元包括集成管道，所述集成管道沿所述第一处理单元和所述第二处理单元的所述单元布置方向延伸， 第一排放管，所述第一排放管被配置为具有用于引入所述第一内部空间的气氛的第一排放口，并且将所述第一内部空间的气氛排放到所述集成管道；以及 第二排放管，所述第二排放管被配置为具有用于引入所述第二内部空间的气氛的第二排放口，并且将所述第二内部空间的气氛排放到所述集成管道， 其中，所述集成管道包括第一壁构件，所述第一壁构件被配置为分隔所述集成管道中的第一排放路径， 其中，所述第一壁构件在第一位置与第二位置之间起始并沿着所述第一排放路径的排放方向延伸，在所述第一位置中所述第一排放管与所述集成管道连接，并且在所述第二位置中所述第二排放管与所述集成管道连接，并且 其中，所述第一壁构件分隔第一排放路径和第二排放路径，所述第一排放路径与所述第一排放管连接，所述第二排放路径与所述第二排放管连接； 其中，所述第一位置在所述第一排放路径和所述第二排放路径中的每一个的排气方向上位于所述第二位置的下游， 其中，通过所述第一排放路径排放的所述第一内部空间的气氛和通过所述第二排放路径排放的所述第二内部空间的气氛，在所述第一壁构件的下游汇合，以及 其中，所述第一壁构件具有第一部分和第二部分，并且 其中，所述第一部分与所述集成管道的内壁接触并且相对于所述集成管道的纵向方向倾斜设置，以及所述第二部分从所述第一部分延伸并且平行于所述集成管道的纵向方向设置，其中，所述第二部分在所述第一排放路径和所述第二排放路径的排放方向上平行于所述排放单元的外壁延伸。

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