芯盟科技有限公司邢程获国家专利权
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龙图腾网获悉芯盟科技有限公司申请的专利晶圆清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114242622B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111535660.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆清洗设备是由邢程;武敬勋;孙鹏设计研发完成，并于2021-12-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆清洗设备在说明书摘要公布了：一种晶圆清洗设备，包括：箱体，用于承装清洗液体和晶圆；安装于所述箱体内的振动板；安装于所述箱体内的驱动组件，用于在晶圆清洗过程中，驱动所述晶圆转动；与所述驱动组件连接的压电组件，用于从所述驱动组件获取压力信号；以及与所述箱体连通的浮球液位监测组件，用于监测所述清洗液体的液位。通过力学原理形成对应的监测组件，能够有效对所述晶圆位置和液面高度进行监测，避免了采用光学、磁场和电场的监测时金属平坦化后晶圆表面造成腐蚀。
本发明授权晶圆清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗设备，其特征在于，包括： 箱体，用于承装清洗液体和晶圆； 安装于所述箱体内的振动板； 安装于所述箱体内的驱动组件，用于在晶圆清洗过程中，驱动所述晶圆转动； 与所述驱动组件连接的压电组件，用于从所述驱动组件获取压力信号；以及 与所述箱体连通的浮球液位监测组件，用于监测所述清洗液体的液位；其中， 所述驱动组件包括：主动轮和从动轮； 所述压电组件包括：固定于所述箱体外侧壁上的盒体；传动杆，包括相对垂直的第一段和第二段，所述第一段穿过所述箱体侧壁，且所述第一段的端部与所述从动轮转动连接，所述第二段的端部与所述盒体转动连接；以及安装于所述盒体内的压电陶瓷，所述第一段和所述第二段的转接处与所述压电陶瓷的表面接触。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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