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龙图腾网获悉南京理工大学申请的专利一种柔性弹性氧化物铁电薄膜传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116133508B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111339292.8，技术领域涉及：H10N30/88；该发明授权一种柔性弹性氧化物铁电薄膜传感器是由袁国亮;邢益菘;唐晓龙;张骥设计研发完成，并于2021-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种柔性弹性氧化物铁电薄膜传感器在说明书摘要公布了：本发明公开了一种柔性弹性氧化物铁电薄膜传感器。该传感器具有褶皱结构，包括依次连接的金箔、绝缘薄膜、平行下电极、氧化物铁电薄膜、平行上电极。本发明的传感器，氧化物铁电薄膜是传感器的功能层，“下电极铁电薄膜上电极”是传感器基本单元，平行下电极与平行上电极相互垂直，形成由若干单元构成的传感器，传感器的厚度为0.5μm至10μm，含有规则排列的褶皱结构，因此传感器柔韧性好，具有弹性和延展性，可以转移到人体和动物皮肤、植物表皮、人造有机物或无机物表面，并感知上述物体应变和温度变化。

本发明授权一种柔性弹性氧化物铁电薄膜传感器在权利要求书中公布了：1.一种柔性弹性铁电氧化物薄膜传感器，其特征在于，该传感器具有褶皱结构，包括依次连接的金箔、绝缘薄膜、平行下电极、氧化物铁电薄膜、平行上电极，其中，氧化物铁电薄膜选自PZT、PMN-PT、BaTiO3中的任意一种； 由如下步骤制备： 步骤一，将金箔转移至耐700度以上高温和表面平整的硬质基片上，通过银浆将金箔的四边粘接和固定在硬质基片上，获得硬质基片金箔样品； 步骤二，将硬质基片金箔放入真空生长腔，在金箔表面生长绝缘薄膜，获得硬质基片金箔绝缘薄膜样品； 步骤三，采用掩膜版或者光刻技术，在绝缘薄膜表面，生长金电极作为平行下电极，获得硬质基片金箔绝缘薄膜平行下电极样品； 步骤四，在平行下电极表面，在高温和氧气环境中生长氧化物铁电薄膜，获得硬质基片金箔绝缘薄膜平行下电极氧化物铁电薄膜样品； 步骤五，采用掩膜版或者光刻技术，在绝缘薄膜表面，生长金电极作为平行上电极，获得硬质基片金箔绝缘薄膜平行下电极氧化物铁电薄膜平行上电极样品； 步骤六，将硬质基片从上述样品中去掉，获得自支撑的传感器； 步骤七，将弹性体面内相互垂直的两个方向双向拉伸至最大值，将步骤六获得的自支撑的传感器转移到该双向拉伸的弹性体表面，在上述垂直的两个方向上交替释放弹性物的拉伸力后让弹性物恢复原状，每次释放拉伸力后减小的应变小于1%，弹性体应变释放后传感器在弹性物表面形成褶皱结构，形成柔性弹性铁电氧化物薄膜传感器； 其中，步骤四中，当氧化物铁电薄膜为PZT时，高温温度为600-700度；当氧化物铁电薄膜为PMN-PT时，高温温度为600-700度；当氧化物铁电薄膜为BaTiO3时，高温温度为700-800度。

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