杰宜斯科技有限公司孔云获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉杰宜斯科技有限公司申请的专利基板处理装置及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114121758B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110975794.3，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权基板处理装置及基板处理方法是由孔云;宋智勋;文雄助;朴芝镐;崔源锡设计研发完成，并于2021-08-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基板处理装置及基板处理方法，该基板处理装置包括：旋转卡盘部，以能够旋转的方式设置于驱动部；真空卡盘部，配置于旋转卡盘部，供晶片放置；卡紧模块，设置于旋转卡盘部，使得晶片固定于真空卡盘部；以及移动模块，使真空卡盘部或卡紧模块移动，以在晶片上扩大相邻模具之间的间隔。因此，能够显著提高晶片的清洗性能并且能够显著降低晶片的不合格率。
本发明授权基板处理装置及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，包括： 旋转卡盘部，以能够旋转的方式设置于驱动部； 真空卡盘部，配置于所述旋转卡盘部并且供晶片放置； 卡紧模块，设置于所述旋转卡盘部，以使得所述晶片固定于所述真空卡盘部；以及 移动模块，使所述真空卡盘部或所述卡紧模块移动，以在所述晶片上扩大相邻模具之间的间隔， 所述真空卡盘部包括： 第一真空卡盘，以与所述旋转卡盘部一起旋转的方式设置于所述旋转卡盘部，并且所述第一真空卡盘形成真空压以吸附所述晶片；以及 第二真空卡盘，搭载于所述第一真空卡盘并且供所述晶片搭载，所述第二真空卡盘设置为通过所述移动模块而升降，以扩大所述模具之间的间隔。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杰宜斯科技有限公司，其通讯地址为：韩国京畿道；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号