玛特森技术公司;北京屹唐半导体科技股份有限公司曼努埃尔·森获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉玛特森技术公司;北京屹唐半导体科技股份有限公司申请的专利具有冷却系统的快速热处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114402425B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180003802.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权具有冷却系统的快速热处理系统是由曼努埃尔·森;罗尔夫·布雷门斯多夫;斯克·哈姆;迪特尔·赫兹勒设计研发完成，并于2021-08-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有冷却系统的快速热处理系统在说明书摘要公布了：本公开提供了用于处理工件的装置、系统和方法。在一个示例中，这种用于进行尖峰退火快速热处理的方法可以包括控制热源开始加热支撑在处理腔室中的工件支撑件上的工件。该方法还可以包括接收指示工件温度的数据。此外，该方法可以包括监测工件相对于温度设定点的温度。此外，该方法可以包括至少部分地基于工件达到温度设定点而控制热源停止加热工件。此外，该方法可以包括至少部分地基于工件达到温度设定点而控制冷却系统开始使冷却气体以约300slm或更大的速率流过工件以减小工件的t50峰宽。
本发明授权具有冷却系统的快速热处理系统在权利要求书中公布了：1.一种热处理系统，用于进行半导体工件的快速热处理，包括： 处理腔室； 工件支撑件，配置为在所述处理腔室内支撑工件； 热源，配置为加热所述工件； 温度测量系统，配置为产生指示所述工件的温度的数据；和 冷却系统，配置为使冷却气体流过支撑在所述工件支撑件上的所述工件，所述冷却系统包括布置在冷却平面中的四个冷却管，所述四个冷却管中直接相邻的冷却管彼此垂直定位，每个冷却管具有入口开口和多个出口开口，所述冷却管的所述多个出口开口中的每个出口开口的轴线相对于所述冷却平面朝向由所述工件限定的工件平面成角度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人玛特森技术公司;北京屹唐半导体科技股份有限公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号