株式会社斯库林集团濑川聪获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利热处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115004339B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180011495.6，技术领域涉及：H01L21/31；该发明授权热处理装置是由濑川聪设计研发完成，并于2021-02-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本热处理装置在说明书摘要公布了：对半导体晶片照射光来进行加热处理的腔室和可燃性气体供给源通过可燃性气体供给管连通连接。在可燃性气体供给管安装有调整可燃性气体的供给流量的电气式流量控制器等。可燃性气体供给管中的包含可能成为着火源的电气式流量控制器等的部分被内侧框体包围。向内侧框体的内部的内侧空间供给作为不燃性气体的氮气。通过向内侧空间供给不燃性气体，并且排出滞留在内侧空间中的气体，内侧空间中的氧浓度降低到小于爆炸极限，从而能够防止可燃性气体的火灾和爆炸。
本发明授权热处理装置在权利要求书中公布了：1.一种热处理装置，通过对基板照射光来加热该基板，其中， 具有： 腔室，容纳基板； 灯，向容纳在所述腔室内的所述基板照射光； 第一气体供给管，从第一气体供给源向所述腔室供给可燃性气体； 电气式的流量调整部，安装于所述第一气体供给管，调整所述可燃性气体的供给流量； 第一框体，包围所述第一气体供给管中的至少包含所述流量调整部的部分； 第二框体，进一步包围所述第一框体的周围； 第二气体供给管，从第二气体供给源向所述第一框体的内部的第一空间供给不燃性气体；以及 气体排出口，设置在所述第一框体上，将滞留在所述第一空间中的气体向形成在所述第一框体与所述第二框体之间的第二空间排放。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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