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龙图腾网获悉江苏菲沃泰纳米科技有限公司申请的专利连续镀膜设备和连续镀膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112281135B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011218185.5，技术领域涉及：C23C14/56；该发明授权连续镀膜设备和连续镀膜方法是由宗坚设计研发完成，并于2020-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本连续镀膜设备和连续镀膜方法在说明书摘要公布了：本发明提供一连续镀膜设备和连续镀膜方法，其中所述连续镀膜设备包括一辅助腔体和一工作腔体，通过对于所述辅助腔体预抽真空可以使得样品自所述辅助腔体被直接运输至所述工作腔体，所述工作腔体由于不需要和外部环境连通因此可以维持在预设的真空度，从而使得整个镀膜过程连续化。

本发明授权连续镀膜设备和连续镀膜方法在权利要求书中公布了：1.一连续镀膜设备，适于为待镀膜样品镀膜，其特征在于，包括： 一放电装置； 一进料装置； 一抽真空装置； 一工作腔体，其中所述工作腔体具有一工作腔；以及 至少一辅助腔体，其中所述辅助腔体能够形成有一个辅助腔，所述辅助腔用于转移样品，其中所述放电装置用于向所述工作腔体的所述工作腔放电，其中所述进料装置用于向所述工作腔体的所述工作腔进料，所述工作腔体和所述辅助腔体被真空度可控地连接于所述抽真空装置，其中每一所述辅助腔体和所述工作腔体之间具有一封闭状态和一连通状态并且被可操作地在所述封闭状态和所述连通状态之间变换，在所述连通状态，所述辅助腔体和所述工作腔体之间能够进行样品转移并且保持和外界封闭，在所述封闭状态，所述辅助腔体和所述工作腔体之间保持独立，其中在所述封闭状态，至少一个被放置有该待镀膜样品的所述辅助腔体被提前抽真空以为连通于所述工作腔体以转移该待镀膜样品做好准备，至少一个所述辅助腔体被提前抽真空以为连通于所述工作腔体以承接来自于所述工作腔体的样品做好准备，以使得所述工作腔体在所述封闭状态和所述连通状态之间变换时真空度能够被控制在预设范围内，从而所述工作腔体能够连续作业； 所述工作腔体具有一入口和一出口，所述工作腔体的入口与所述工作腔体的出口为所述工作腔体上不同位置的开口；所述辅助腔体的数目是两个并且分别被实施为第一辅助腔体和第二辅助腔体，其中所述第一辅助腔体具有一第一辅助腔并且被可连通地连接于所述工作腔体的所述工作腔，所述第二辅助腔体具有一第二辅助腔并且被可连通地连接于所述工作腔体的所述工作腔，其中所述第一辅助腔体被可在通过连通所述工作腔体的所述入口以连通于所述工作腔和通过连通于所述工作腔体的所述出口以连通于所述工作腔之间变换，所述第二辅助腔体被可在通过连通所述工作腔体的所述入口以连通于所述工作腔和通过连通于所述工作腔体的所述出口以连通于所述工作腔之间变换； 当所述工作腔体的工作腔被抽至真空状态的过程中，所述第一辅助腔体被转移入待镀膜样品且也被抽真空至期望的数值；当所述工作腔体的工作腔和所述第一辅助腔体的所述第一辅助腔的真空度分别达到要求时，所述工作腔体的所述工作腔连通于所述第一辅助腔体，以使得所述第一辅助腔体内的待镀膜样品转移至所述工作腔；在这个过程中，所述第二辅助腔体被放入新的待镀膜样品，并且被抽真空，以使得所述工作腔体完成对于第一批次的样品的镀膜之后，第二批次的样品可被转移至所述工作腔体； 被取走第一批次样品而空置的所述第一辅助腔体被移动至所述工作腔体的取出开口位置，以用于承接来自于所述工作腔体的镀膜完毕的第一批次样品； 当第一批次样品自所述工作腔体被转移至所述第一辅助腔体，那么所述第二辅助腔体内第二批次样品可被转移至所述工作腔体，并且空置的所述第二辅助腔体可移动至所述工作腔体的取出开口位置，以用于承接来自于所述工作腔体的镀膜完毕的第二批次的样品；而所述第一辅助腔体内的第一批次样品自所述第一辅助腔体被取出后，所述第一辅助腔体可重新被放置入新的待镀膜样品。

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