东京毅力科创株式会社田村一获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利载置台和等离子体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112599398B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011014970.9，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权载置台和等离子体处理装置是由田村一设计研发完成，并于2020-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本载置台和等离子体处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种载置台和等离子体处理装置。提供使基板温度的面内均匀性提高的载置台。提供一种载置台，该载置台具有：载置面，其用于载置基板；电极，其配置在所述载置面的下方，用于施加偏压电力；供电线，其配置在所述电极的下方，用于施加偏压电力；以及供电端子，其将所述电极和所述供电线电连接，该供电端子与所述电极连接的面的面积大于与所述供电线连接的面的面积。
本发明授权载置台和等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种载置台，其中， 该载置台具有： 载置面； 电极，其配置在所述载置面的下方，用于施加偏压电力； 供电线，其配置在所述电极的下方，用于施加偏压电力；以及 供电端子，其具有上表面和下表面，将所述电极和所述供电线电连接，该供电端子与所述电极连接的所述上表面的面积大于与所述供电线连接的所述下表面的面积， 其中，所述下表面的面积大于或等于与所述下表面连接的所述供电线的上表面的面积。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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