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信越聚合物株式会社小川统获国家专利权

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龙图腾网获悉信越聚合物株式会社申请的专利基板收纳容器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114270492B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080058736.8,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权基板收纳容器是由小川统设计研发完成,并于2020-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。

基板收纳容器在说明书摘要公布了:本发明提供一种清洗液不易残留于供气机构的基板收纳容器。基板收纳容器于前表面侧具有开口,于底面包括供气机构,其中,所述供气机构包括:导入通路,从底面侧接收气体;以及止回阀,配置于在沿着底面的水平面内的与导入通路不重合的位置,以及流路,从导入通路朝向止回阀供给气体。

本发明授权基板收纳容器在权利要求书中公布了:1.一种基板收纳容器,于前表面侧具有开口,于底面包括供气机构,且所述基板收纳容器的特征在于, 所述供气机构包括: 导入通路,从所述底面侧接收气体;以及 止回阀,配置于在沿着所述底面的水平面内的与所述导入通路不重合的位置,以及 流路,从所述导入通路朝向所述止回阀供给所述气体, 在所述底面朝向下方的纵向剖面中, 所述流路具有前侧低且后侧高的上侧倾斜壁面以及前侧低且后侧高的下侧倾斜壁面, 所述导入通路具有向下内壁面,所述向下内壁面连接于所述上侧倾斜壁面及所述下侧倾斜壁面且向下延伸, 所述导入通路配置于较所述止回阀更靠所述前表面侧, 当所述前表面侧朝向下方时,所述流路内的清洗液因重力而沿所述上侧倾斜壁面朝向所述导入通路流动, 当所述底面朝向下方时,所述流路内的清洗液因重力而沿所述下侧倾斜壁面朝向所述导入通路流动, 当所述底面朝向下方时,所述导入通路中的清洗液因重力而沿所述向下内壁面朝向所述导入通路的外部流动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人信越聚合物株式会社,其通讯地址为:日本东京千代田区神田须田町一丁目9番(邮递区号:101-0041);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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