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南方科技大学严紫君获国家专利权

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龙图腾网获悉南方科技大学申请的专利薄膜生长样品托获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111707684B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010564360.X,技术领域涉及:G01N23/04;该发明授权薄膜生长样品托是由严紫君;吴鹏阳;张润楠;王干;邱杨设计研发完成,并于2020-06-19向国家知识产权局提交的专利申请。

薄膜生长样品托在说明书摘要公布了:本申请提供了一种薄膜生长样品托,包括托盘和安装于托盘上的压片,压片上开设有第一通孔,第一通孔中安装有载物圆片。第一通孔远离托盘一端的直径小于2.8mm,第一通孔靠近托盘一端的直径大于或者等于3.2mm,载物圆片的直径范围为2.8mm‑3.2mm。通过在压片上开设第一通孔,第一通孔可供载物圆片伸入并对其固定。在通过分子束外延技术进行薄膜生长时,载物圆片上可形成直径约为3mm的薄膜。由于载物圆片的直径满足透射电子显微镜的样品杆所需样品的尺寸要求,可直接将载有薄膜的载物圆片放入透射电子显微镜的样品杆中,方便对薄膜的观察,可解决厘米级的基底无法直接放入透射电子显微镜的样品杆中而对薄膜进行观察的问题。

本发明授权薄膜生长样品托在权利要求书中公布了:1.薄膜生长样品托,其特征在于,包括: 托盘; 压片,安装于所述托盘上,所述压片上开设有第一通孔; 载物圆片,设于所述第一通孔中,用于承托薄膜的生长,所述载物圆片外周面上开设有多个凹槽; 其中,所述第一通孔远离所述托盘一端的直径小于2.8mm,所述第一通孔靠近所述托盘一端的直径大于或者等于3.2mm,所述载物圆片的直径范围为2.8mm-3.2mm; 所述第一通孔的直径由所述压片朝所述托盘的方向逐渐增大;所述第一通孔的内周面为第一斜面,所述载物圆片的外周面为与所述第一斜面配合的第二斜面; 或者,所述第一通孔包括第一过孔和与所述第一过孔同轴设置的第二过孔,所述第一过孔与所述第二过孔连通,所述第一过孔的直径大于所述第二过孔的直径,所述第一过孔与所述第二过孔之间形成支撑所述载物圆片的第一台阶面; 所述托盘上开设有第二通孔,所述压片上对应开设有第三通孔,所述第三通孔与所述第一通孔间隔设置,所述第二通孔支撑正常大小的厘米级别的基底,这样在生长过程中能通过被基底反射到荧光屏上的高能电子束的图像来观察薄膜生长情况,所述第三通孔与第二通孔对应设置,便于对基底上的薄膜进行观察; 所述第二通孔包括第三过孔和与所述第三过孔同轴设置的第四过孔,所述第三过孔与所述第四过孔连通,所述第三过孔的直径大于所述第四过孔的直径,所述第三过孔与所述第四过孔之间形成第二台阶面。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南方科技大学,其通讯地址为:518055 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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