株式会社拓普康;国立研究开发法人理化学研究所椴山誉获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社拓普康;国立研究开发法人理化学研究所申请的专利光干涉测定装置及光干涉测定方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113892024B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080036899.6，技术领域涉及：G01N21/45；该发明授权光干涉测定装置及光干涉测定方法是由椴山誉;佐佐木芳彰;吉峯功;大谷知行;汤浅哲也设计研发完成，并于2020-05-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本光干涉测定装置及光干涉测定方法在说明书摘要公布了：提供一种光干涉测定技术，不使用宽频带的光源，改善了深度方向的强度特性曲线的分辨率。光干涉测定装置1具有：测定部2，使所照射的电磁波的、来自测定对象物的反射面的反射波和来自参照面的反射波干涉，获取干涉波的干涉图；以及信号处理部8，通过对干涉图进行傅里叶变换，构成深度方向的强度特性曲线，信号处理部8具有：模型参数推定部201，基于假设测定对象物是具有规定的构造的构造物的情况下的干涉图的模型式，对假定面数推定模型式的参数；最佳模型选择部202，根据应用了对假定面数推定出的参数的模型式，通过统计学方法选择最佳模型；以及强度特性曲线重建部203，基于最佳模型重建强度特性曲线。
本发明授权光干涉测定装置及光干涉测定方法在权利要求书中公布了：1.一种光干涉测定装置，其特征在于，具有： 测定部，向测定对象物及参照面照射电磁波，使来自所述测定对象物的反射面的反射波和来自所述参照面的反射波干涉，获取干涉波的干涉图；以及 信号处理部，通过对所述干涉图进行傅里叶变换，构成深度方向的强度特性曲线， 所述信号处理部具有： 模型参数推定部，基于假设测定对象物是至少具有一个反射面的层状构造物的情况下的干涉图的模型式，对规定的假定面数的范围中的各假定面数推定所述模型式的参数； 最佳模型选择部，根据应用了对所述各假定面数推定出的参数的所述模型式，通过统计学方法选择最佳的模型式；以及 强度特性曲线重建部，基于所述最佳的模型式重建深度方向的强度特性曲线； 所述最佳模型选择部使用应用了对所述各假定面数推定出的参数的所述模型式重建干涉图，计算所重建的干涉图与原本的干涉图的似然度，基于以所述假定面数作为自由度而获得的信息量准则选择所述最佳的模型式。
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