朗姆研究公司纳撒尼尔·杰克逊·斯祖莫斯基获国家专利权
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龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利用于衬底处理系统的具有介电窗的蜂窝式喷射器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112514044B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980050687.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于衬底处理系统的具有介电窗的蜂窝式喷射器是由纳撒尼尔·杰克逊·斯祖莫斯基;安巴理什·查哈特设计研发完成，并于2019-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于衬底处理系统的具有介电窗的蜂窝式喷射器在说明书摘要公布了：一种用于衬底处理室的组件包含：构造成布置在该衬底处理室的上表面中的石英介电窗；石英介电窗中的凹部，该凹部包括延伸穿过该石英介电窗的第一开口；以及包含气体喷射器的气体喷射器组件。该气体喷射器组件布置在该凹部内，使得该气体喷射器延伸穿过该第一开口。该气体喷射器由固态氧化钇组成和或包含具有氧化钇涂层的外表面。
本发明授权用于衬底处理系统的具有介电窗的蜂窝式喷射器在权利要求书中公布了：1.一种用于衬底处理室的组件，所述组件包括： 介电窗，其构造成布置在所述衬底处理室的上表面中； 在所述介电窗中的中心凹部，其中所述中心凹部包含延伸穿过所述介电窗的第一开口和位于所述第一开口上方的第二开口，所述第二开口包括被配置为接收螺母组件的卡口式开口；以及 气体喷射器，其中，所述气体喷射器布置在所述中心凹部内，使得所述气体喷射器通过所述螺母组件固定到所述介电窗并且所述气体喷射器延伸穿过所述第一开口和所述第二开口， 其中，所述气体喷射器i由固态氧化钇组成，或者ii包含具有氧化钇涂层的外表面， 其中所述气体喷射器包含布置在所述第二开口内的凸缘，并且其中所述凸缘的高度基本上等于所述第二开口的深度。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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