应用材料公司保罗·B·路透获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利电子装置制造设备、系统和方法中的装载端口操作获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116825665B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310708011.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权电子装置制造设备、系统和方法中的装载端口操作是由保罗·B·路透设计研发完成，并于2018-01-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本电子装置制造设备、系统和方法中的装载端口操作在说明书摘要公布了：一种电子装置制造系统可包括具有受控环境的工厂接口。电子装置制造系统也可包括耦接到工厂接口的装载端口。装载端口可被配置为在其上接收基板载体，且可包括净化设备和控制器。控制器可被配置为操作装载端口，使得定位在基板载体门与装载端口周围和之间的任何空气至少部分地或完全地被净化掉，因此减少或防止在由装载端口开启基板载体门之后污染受控的环境。也提供了操作工厂接口装载端口的方法以及其他的方面。
本发明授权电子装置制造设备、系统和方法中的装载端口操作在权利要求书中公布了：1.一种电子装置制造系统的工厂接口的装载端口，所述装载端口包括： 净化设备； 对接盘，被配置为接收基板载体，所述基板载体包括基板载体门和基板载体外壳； 背板，定位在所述对接盘附近； 载体开门器，被配置为在所述载体开门器关闭时密封所述背板中的开口，所述载体开门器包括从所述载体开门器穿过的入口气流线路，所述入口气流线路耦接到所述净化设备；和 控制器，所述控制器被配置为： 将所述基板载体对接到所述对接盘，使得环形空间与在所述基板载体外壳与所述背板载体开门器之间的间隙流体连通； 经由所述入口气流线路来启动净化所述基板载体的所述基板载体门与所述装载端口的所述载体开门器周围和之间的区域一段时间，其中所述区域包括所述环形空间、所述间隙和所述基板载体门和所述载体开门器之间的空间； 响应于所述一段时间期满，而停用净化所述基板载体门和所述载体开门器之间的所述区域；和 通过所述对接盘朝向所述背板移动所述基板载体，以允许侧夹具接合所述基板载体及抵着所述装载端口的所述背板挤压所述基板载体。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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