合肥晶合集成电路股份有限公司王康获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利一种光学邻近校正模型的建模方法、系统及计算机设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120315261B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510803572.1，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种光学邻近校正模型的建模方法、系统及计算机设备是由王康;罗招龙设计研发完成，并于2025-06-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光学邻近校正模型的建模方法、系统及计算机设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光学邻近校正模型的建模方法、系统及计算机设备，属于集成电路制造领域，所述光学邻近校正模型的建模方法包括以下步骤：设置包括非对称图形的标准偏差的成本函数；在每个参数下，将目标图形数据输入光学邻近校正模型，获取目标图形的模拟图形数据，并依据模拟图形数据和晶圆图形数据，获取每个参数下的成本函数；输出参数范围内成本函数最小时的光学邻近校正模型；将最小成本函数小于预设成本时，将最小成本函数对应的光学邻近校正模型作为目标光学邻近校正模型通过本发明公开的光学邻近校正模型的建模方法，可提对非对称光罩图形的光学邻近校正的准确性。
本发明授权一种光学邻近校正模型的建模方法、系统及计算机设备在权利要求书中公布了：1.一种光学邻近校正模型的建模方法，其特征在于，包括以下步骤： 获取多个目标图形数据，以及每个所述目标图形数据对应的晶圆图形数据； 将目标图形区分为对称图形和非对称图形； 设置光学邻近校正模型初始的内核和参数范围，并设置表示拟合程度的成本函数，所述成本函数中包括所有目标图形的标准偏差以及所述非对称图形的标准偏差； 在所述参数范围内的每个参数下，将所述目标图形数据输入所述光学邻近校正模型，获取所述目标图形的模拟图形数据，并依据所述模拟图形数据和所述晶圆图形数据，获取每个参数下的成本函数； 输出所述参数范围内成本函数最小时的所述光学邻近校正模型；以及 判断最小成本函数是否小于预设成本；若最小成本函数小于所述预设成本，将输出的所述光学邻近校正模型作为目标光学邻近校正模型；若最小成本函数大于或等于所述预设成本，则调整所述光学邻近校正模型的内核和参数范围，直至最小成本函数小于预设成本。
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