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西安交通大学李早阳获国家专利权

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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利一种晶体生长炉的模型构建方法和电子设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120296999B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510772230.8,技术领域涉及:G06F30/20;该发明授权一种晶体生长炉的模型构建方法和电子设备是由李早阳;祁冲冲;杨垚;王君岚;罗金平;刘立军设计研发完成,并于2025-06-11向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶体生长炉的模型构建方法和电子设备在说明书摘要公布了:本发明提供了一种晶体生长炉的模型构建方法和电子设备,涉及晶体生长技术领域,该方法包括:根据加热器,构建与加热器对应的第一三维图形;根据与加热器配合设置的电极以及加热器的第一中心轴线与电极的第二中心轴线之间的第一距离,构建与电极对应的第二三维图形;根据第一三维图形构建加热器对应的二维加热器模型,根据第二三维图形构建电极对应的二维电极模型;获取加热器的第一功率密度和电极的第二功率密度;将第一功率密度加载到二维加热器模型,将第二功率密度加载到二维电极模型;基于二维加热器模型和二维电极模型对晶体生长炉进行数值模拟。本发明实施例提高了对晶体生长炉进行数值模拟得到的模拟结果的准确性。

本发明授权一种晶体生长炉的模型构建方法和电子设备在权利要求书中公布了:1.一种晶体生长炉的模型构建方法,其特征在于,所述方法包括: 根据晶体生长炉中的加热器,构建与所述加热器对应的第一三维图形;所述第一三维图形具有二维轴对称性且所述第一三维图形的体积等于所述加热器的体积;根据晶体生长炉中加热器的边缘轮廓,构建所述加热器对应的三维实心环形;所述三维实心环形在与第三中心轴线平行方向上的尺寸等于所述加热器在与第一中心轴线平行方向上的尺寸,所述三维实心环形在与所述第三中心轴线垂直方向上的尺寸等于所述加热器在与所述第一中心轴线垂直方向上的尺寸;所述三维实心环形的体积大于所述加热器的体积,且所述三维实心环形具有二维轴对称性;所述第三中心轴线为所述三维实心环形的中心轴线;根据所述三维实心环形和所述加热器,从所述三维实心环形中确定目标缝隙;所述目标缝隙具有二维轴对称性,且所述目标缝隙的体积等于所述三维实心环形的体积与所述加热器的体积之间的差值;根据所述目标缝隙和所述三维实心环形,构建所述加热器对应的第一三维图形; 根据所述晶体生长炉中与所述加热器配合设置的电极,以及所述加热器的第一中心轴线与所述电极的第二中心轴线之间的第一距离,构建与所述电极对应的第二三维图形;所述第二三维图形具有二维轴对称性且所述第二三维图形的体积等于所述电极的体积;获取与所述加热器配合设置的电极在与所述第一中心轴线平行方向上的第三尺寸;根据所述第三尺寸,获取与所述加热器配合设置的电极的第三体积;根据所述第三体积、所述第三尺寸,以及所述加热器的第一中心轴线与所述电极的第二中心轴线之间的第一距离,计算第二三维图形在与第四中心轴线垂直方向上的第四尺寸;所述第四中心轴线为所述第一三维图形的中心轴线;根据所述第四尺寸,以所述第四中心轴线为中心,构建与所述第四中心轴线之间的距离等于所述第一距离的三维环形,并将所述三维环形确定为所述电极对应的第二三维图形; 根据所述第一三维图形构建所述加热器对应的二维加热器模型,并根据所述第二三维图形构建所述电极对应的二维电极模型;将所述第一三维图形和所述第二三维图形进行组合,得到组合三维图形;在所述组合三维图形中,所述第一三维图形的第四中心轴线与所述第二三维图形的中心轴线重合;沿着所述第四中心轴线所在的任意平面将所述组合三维图形剖开,得到剖面图;将所述剖面图中所述第一三维图形的二维剖面图确定为二维加热器模型,并将所述剖面图中所述第二三维图形的二维剖面图确定为二维电极模型; 获取所述加热器的第一功率密度和所述电极的第二功率密度; 将所述第一功率密度加载到所述二维加热器模型,并将所述第二功率密度加载到所述二维电极模型; 基于所述二维加热器模型和所述二维电极模型,对所述晶体生长炉进行数值模拟。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人西安交通大学,其通讯地址为:710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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