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山东理工大学毛帅获国家专利权

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龙图腾网获悉山东理工大学申请的专利整体测量光路衔接上转轴式激光跟踪仪转台转轴误差检测方法与装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120274640B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510764565.5,技术领域涉及:G01B11/00;该发明授权整体测量光路衔接上转轴式激光跟踪仪转台转轴误差检测方法与装置是由毛帅;刘剑设计研发完成,并于2025-06-10向国家知识产权局提交的专利申请。

整体测量光路衔接上转轴式激光跟踪仪转台转轴误差检测方法与装置在说明书摘要公布了:本申请公开了一种整体测量光路衔接上转轴式激光跟踪仪转台转轴误差检测方法与装置,属于激光跟踪测量技术领域,包括:显微镜、荧光微球、基板、六维精密校准位移台,其中,所述显微镜位于所述荧光微球上方,所述荧光微球固定在所述基板上,所述基板固定在所述六维精密校准位移台上。本申请通过结合具有像散成像功能的荧光显微镜、精密位移台和空间坐标解算等操作,实现了在一个坐标系下对整体测量光路衔接上转轴式激光跟踪仪上下转台轴线空间直线方程确定以及一个完整旋转周期内轴径跳检测,为实现整体测量光路衔接上转轴式激光跟踪仪转台转轴误差补偿、提高激光跟踪仪的跟踪精度及稳定度做出必要的技术铺垫。

本发明授权整体测量光路衔接上转轴式激光跟踪仪转台转轴误差检测方法与装置在权利要求书中公布了:1.一种整体测量光路衔接上转轴式激光跟踪仪转台转轴误差检测方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤S1:利用物镜、柱面透镜、电荷耦合图像传感器、标准45度分光正方镜块与荧光激发光源构建显微镜; 步骤S2:设置显微镜、荧光微球、基板、六维精密校准位移台,使所述荧光微球在所述电荷耦合图像传感器上成像; 步骤S3:使所述六维精密校准位移台做两个运动方向非平行的平移运动,得到所述荧光微球在所述电荷耦合图像传感器上运动前后三个成像对应的三个XY轴宽度比值,确定运动前后当三个XY轴宽度比值相同时所对应的六维精密校准位移台的姿态矢量; 步骤S4:使六维精密校准位移台沿所述姿态矢量方向往返运动,并保证所述荧光微球能够在所述电荷耦合图像传感器上成像,得到所述荧光微球在不同纵向物面高度与XY轴宽度比值的函数关系,即纵向物面高度函数;在每个纵向物面上将所述六维精密校准位移台平移一个实际位移值,确定对应的荧光微球在电荷耦合图像传感器上成像的测量位移值,根据所述实际位移值与所述测量位移值,得到显微放大倍数函数; 步骤S5:将第一齿轮、第二齿轮分别固定在上转台的第一转轴和第二转轴上,并将一个一侧带有齿轮传动轴的支架固定在下转台的台面上; 步骤S6:将所述显微镜固定在一个六维精密调节位移台上,将带有荧光微球的基板固定在一个微型平移调节台的台面上,将所述微型平移调节台依次固定在上转台、第一转轴、第二转轴以及下转台转轴上; 步骤S7:将带有荧光微球、基板的微型平移调节台固定在下转台转轴上,启动下转台电机,使下转台转轴旋转一个最小步进角度后静止不动,记录显微镜对荧光微球的成像,通过两维高斯函数确定在电荷耦合图像传感器成像平面坐标下的质心坐标及XY轴宽度比值,根据所述XY轴宽度比值确定荧光微球所处纵向物面高度对应的显微放大倍数,根据质心坐标及显微放大倍数,确定荧光微球映射到电荷耦合图像传感器成像平面坐标下的空间坐标值; 步骤S8:根据空间坐标值构建第一基准坐标系,在所述第一基准坐标系中确定下转台旋转轴线的空间直线方程,得到下转台转轴一个完整旋转周期内的径向跳动值; 步骤S9:设置下转台转轴静止不动,记录此时荧光微球在第一基准坐标系中的空间坐标值,构建六维精密调节位移台的运动坐标系,确定运动坐标系的X轴上单位向量在第一基准坐标系中的第一向量值,确定运动坐标系的原点在第一基准坐标系中的第一坐标值,使六维精密调节位移台绕运动坐标系的X轴旋转第一角度,将第一基准坐标系中的单位向量绕所述第一向量值旋转所述第一角度得到第二向量值; 步骤S10:将第一基准坐标系绕运动坐标系的X轴旋转所述第一角度,得到显微镜的测量坐标系,确定荧光微球在测量坐标系中的空间坐标值,得到六维精密调节位移台旋转第一角度前后荧光微球的空间坐标关系; 步骤S11:将六维精密调节位移台旋转回开始姿态,确定六维精密调节位移台的运动坐标系的Y轴上单位向量在第一基准坐标系中的第三向量值,使六维精密调节位移台绕运动坐标系的Y轴旋转第二角度,得到六维精密调节位移台旋转第二角度前后荧光微球的空间坐标关系,通过最小二乘法得到第一向量值、第一坐标值、第三向量值; 步骤S12:将带有荧光微球、基板的微型平移调节台固定在上转台的第一转轴上,启动上转台的电机控制第一转轴转动,构建第二基准坐标系,在所述第二基准坐标系中确定上转台电机侧旋转轴线的空间直线方程,得到一个完整旋转周期内的轴向和径向跳动值; 步骤S13:根据六维精密调节位移台确定第二基准坐标系对于第一基准坐标系的偏摆角和俯仰角,将第一基准坐标系中的单位向量转偏摆角和俯仰角,得到荧光微球在第二基准坐标系中的空间坐标在第一基准坐标系中的空间坐标值,将上转台旋转轴线的空间直线方程转换成第一坐标系中的空间直线方程; 步骤S14:将带有荧光微球、基板的微型平移调节台固定在上转台第二转轴上,并启动下转台电机,转动180度使上转台编码器侧与上转台电机侧对称互换位置,得到一个完整旋转周期内轴向和径向跳动值,在第一基准坐标系下确定下转台旋转轴线和上转台编码器侧旋转轴线的空间直线方程,实现在相同基准坐标系下确定下转台旋转轴线、上转台电机侧旋转轴线以及上转台编码器侧旋转轴线的空间直线方程及一个完整旋转周期内的误差检测。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人山东理工大学,其通讯地址为:255000 山东省淄博市张店区高新技术开发区高创园A座313室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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