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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利薄膜厚度检测方法、系统、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120274654B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510758018.6，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权薄膜厚度检测方法、系统、设备及存储介质是由秦燕亮;安宁;涂政乾;黄伟华;徐成;李义设计研发完成，并于2025-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本薄膜厚度检测方法、系统、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本申请公开了一种薄膜厚度检测方法、系统、设备及存储介质，涉及薄膜测量技术领域，包括：测量待测薄膜的倾斜角度，并获取待测薄膜的光谱干涉信号；基于光谱干涉信号对待测薄膜的厚度进行解析，得到待测薄膜的误差厚度；根据倾斜角度对误差厚度进行修正，得到待测薄膜的实际厚度。本申请通过在传统薄膜厚度测量过程中引入倾斜角度补偿机制，避免了因薄膜表面非水平或设备振动导致的测量失准的问题，从而直接消除了因倾斜引起的入射角变化对光程差的影响，确保了实际厚度值的真实还原，进而保障了实际生产中对薄膜厚度检测的严苛要求。

本发明授权薄膜厚度检测方法、系统、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种薄膜厚度检测方法，其特征在于，所述薄膜厚度检测方法包括： 测量待测薄膜的倾斜角度，并获取所述待测薄膜的光谱干涉信号，其中，所述倾斜角度包括所述待测薄膜各区域的区域倾斜角度； 基于所述光谱干涉信号对所述待测薄膜的厚度进行解析，得到所述待测薄膜的误差厚度，其中，所述误差厚度包括所述待测薄膜各区域的区域误差厚度； 对于所述待测薄膜中的任意一个目标区域，确定各区域倾斜角度和各区域误差厚度中，所述目标区域对应的目标区域倾斜角度和目标区域误差厚度，其中，所述目标区域倾斜角度包括所述目标区域中各子区域的子区域倾斜角度，所述目标区域误差厚度包括所述目标区域中各子区域的子区域误差厚度； 对于所述待测薄膜中的任意一个目标子区域，确定各子区域倾斜角度和各子区域误差厚度中，所述目标子区域对应的目标子区域倾斜角度和目标子区域误差厚度，其中，所述目标子区域倾斜角度包括横轴倾斜角度和纵轴倾斜角度； 基于所述横轴倾斜角度的余弦值和所述纵轴倾斜角度的余弦值的乘积，确定厚度修正参数； 根据所述厚度修正参数与所述目标子区域误差厚度的乘积，确定所述目标子区域的子区域实际厚度； 在遍历各目标子区域后，基于各子区域实际厚度确定所述目标区域的区域实际厚度； 在遍历各目标区域后，基于各区域实际厚度确定所述待测薄膜的实际厚度。

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