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龙图腾网获悉深圳市石金科技股份有限公司申请的专利一种双排横插布局结构石墨舟获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120261361B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510743606.2，技术领域涉及：H01L21/673；该发明授权一种双排横插布局结构石墨舟是由隗柯;尼广超;肖杰;张泉;黄旭设计研发完成，并于2025-06-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种双排横插布局结构石墨舟在说明书摘要公布了：本发明公开了一种双排横插布局结构石墨舟，涉及半导体设备技术领域，所述石墨舟片包括双排内片、双排外片以及扩容部，双排横插布局结构石墨舟还包括用于提升石墨舟装载硅片后的稳定性的稳固部，以及用于调节双排外片和双排内片间所装载的硅片位置的调节部。通过设置有定位部，在人工的安装情形下，仍然能够保持各个石墨舟片间的间距仍然保持一致，进而避免了人为安装因素导致的石墨舟片间的间距不一致，通过保障石墨舟片间的间距一致，从而保障了硅片在后续高温加工的过程中能够受热均匀，一定程度上提高了硅片加工的合格率。

本发明授权一种双排横插布局结构石墨舟在权利要求书中公布了：1.一种双排横插布局结构石墨舟，其特征在于，包括石墨舟片，所述石墨舟片包括： 双排内片（1），具有多个，且多个双排内片（1）间的间距一致； 双排外片（2），具有两个，且两个双排外片（2）分别分布在外侧的双排内片（1）一侧，且双排外片（2）与外侧的双排内片（1）的间距与双排内片（1）间的间距一致； 扩容部，具有两组，且两组扩容部分别分布在两个双排外片（2）的一侧，所述扩容部用于增加石墨舟对硅片的承载量； 双排横插布局结构石墨舟还包括： 稳固部，具有多组，且多组稳固部设置于所述石墨舟片上，所述稳固部用于提升石墨舟装载硅片后的稳定性； 调节部，具有两组，所述调节部用于调节双排外片（2）和双排内片（1）间所装载的硅片位置； 所述双排内片（1）、双排外片（2）、单排内片（3）以及单排外片（4）上均贯穿开设有多个规律分布的卡点孔（8），双排内片（1）和双排外片（2）内还开设有定位槽（9），所述定位槽（9）内设置有便于石墨舟片安装定位的定位部； 所述稳固部包括： 陶瓷套（10），具有多个，且多个陶瓷套（10）分别设置于所述双排内片（1）间、双排外片（2）与双排内片（1）间； 陶瓷杆（11），具有多个，所述陶瓷杆（11）等距穿设于石墨舟片以及陶瓷套（10）上，所述陶瓷杆（11）上开设有多个等距分布的球槽（12）； 所述定位部包括： 定位弹簧（15），设置于所述定位槽（9）内，所述定位弹簧（15）始终处于压缩状态； 定位球（16），滑动设置于所述定位槽（9）内，且定位球（16）与所述球槽（12）卡合。

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