华海清科股份有限公司路新春获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种晶圆承载单元、后处理装置、翻转方法和处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120244826B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510732613.2，技术领域涉及：B24B37/30；该发明授权一种晶圆承载单元、后处理装置、翻转方法和处理设备是由路新春;南奇童;申兵兵;李长坤;王科设计研发完成，并于2025-06-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆承载单元、后处理装置、翻转方法和处理设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆承载单元、后处理装置、翻转方法和处理设备，晶圆承载单元包括：承载托架，检测组件和调节组件；承载托架包括可翻转的主体，主体包括固定安装的上限位件、下限位件驱动器和活动安装的下限位件，用于在主体翻转过程中限位和承载晶圆，下限位件驱动器用于驱动下限位件靠近或远离主体的中心；检测组件用于在主体翻转至水平状态时，检测晶圆沿上限位件向下限位件方向的倾斜角度；调节组件包括调节驱动器和调节支撑元件，调节驱动器将调节支撑元件驱动至以倾斜角度支撑晶圆，并在下限位件驱动器驱动下限位件远离后，将调节支撑元件驱动至水平状态。本发明能将倾斜晶圆调平，且不会污染晶圆和损伤限位件。
本发明授权一种晶圆承载单元、后处理装置、翻转方法和处理设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆承载单元，其特征在于，包括：承载托架，检测组件和调节组件； 所述承载托架包括可沿第一轴翻转的主体，所述主体包括固定安装的上限位件、下限位件驱动器和活动安装的下限位件，所述上限位件和下限位件位于所述第一轴的两侧，用于在所述主体翻转过程中限位和承载晶圆，所述下限位件驱动器用于驱动所述下限位件靠近或远离所述主体的中心； 所述检测组件用于在所述主体翻转至水平状态时，检测晶圆沿所述上限位件向所述下限位件方向的倾斜角度； 所述调节组件包括调节驱动器和调节支撑元件，所述调节驱动器将所述调节支撑元件驱动至以所述倾斜角度支撑晶圆，并在所述下限位件驱动器驱动所述下限位件远离后，将所述调节支撑元件驱动至水平状态； 以使得晶圆被调节至水平状态，且晶圆和所述下限位件不会被磨损。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华海清科股份有限公司，其通讯地址为：300350 天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号