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龙图腾网获悉中国科学院合肥物质科学研究院申请的专利一种基于刻蚀氧化铟锡膜的臭氧传感器及制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120195237B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510677621.1，技术领域涉及：G01N27/12；该发明授权一种基于刻蚀氧化铟锡膜的臭氧传感器及制备方法和应用是由孟钢;冀小华;李蒙;王时茂设计研发完成，并于2025-05-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于刻蚀氧化铟锡膜的臭氧传感器及制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明属于传感技术领域，具体涉及一种基于刻蚀氧化铟锡膜的臭氧传感器及制备方法和应用。该制备方法包括，使用激光刻蚀ITO玻璃表面ITO层，获得图形化的ITO膜电阻器件（电阻为0.1‑5kΩ）；将所述ITO膜电阻器件装入等离子体刻蚀机，进行ArH2等离子刻蚀，获得表面粗糙且富含表面缺陷的ITO膜电阻器件；在空气中退火老化处理后冷却，制得基于刻蚀氧化铟锡膜的臭氧传感器。该传感器在自加热模式下能够高灵敏检测环境中痕量O3，具有低功耗、高选择性、抗湿度干扰特性及长期稳定性，满足室内外环境O3检测需求。解决了现有O3传感器的传感基片不透明、制备工艺复杂（需集成加热器）的问题，具有广泛的应用前景。

本发明授权一种基于刻蚀氧化铟锡膜的臭氧传感器及制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种基于刻蚀氧化铟锡膜的臭氧传感器在检测痕量臭氧上的应用，其特征在于，包括如下步骤： 步骤21、研究基于刻蚀氧化铟锡膜的臭氧传感器温度同驱动功率之间的关系，对传感器的自加热温度进行调控；在敏感膜不烧断、稳定自加热的工作温度范围内，通过调控自加热功率调节传感器的工作温度，研究传感器在不同工作温度下，对1000ppbO3的电学响应R gR a，其中，R g、R a分别为传感器在有O3与无O3的空气背景下的电阻值，获得传感器对O3响应值最大时对应的工作温度，记为最优工作温度； 步骤22、在步骤21的最优工作温度下，测试传感器对10-1000ppbO3的电学响应R gR a，获得传感器的O3响应与O3浓度的对应关系曲线，记为响应特性曲线； 步骤23、在步骤21的最优工作温度下，先后记录传感器在空气背景与存在O3气体环境下的电阻值，获得传感器的响应值R gR a，然后根据步骤22标定的响应特性曲线，分析当前环境中O3的浓度； 所述基于刻蚀氧化铟锡膜的臭氧传感器的制备方法包括如下步骤： 步骤1、采用短脉冲激光对ITO玻璃的氧化铟锡导电层进行刻蚀，获得阵列排布的图形化ITO膜电阻单元，再使用短脉冲激光进行切割，将相邻的图形化ITO膜电阻单元分离开，得到图形化ITO膜电阻器件待用；所述图形化ITO膜电阻器件包括绝缘玻璃和绝缘玻璃上的图形化ITO膜电阻单元，所述图形化ITO膜电阻单元包括两个独立设置的ITO电极以及连接两ITO电极的ITO电阻丝，所述ITO电阻丝的电阻为0.1-5kΩ； 步骤2、将图形化ITO膜电阻器件置于刻蚀机内，对ITO电极和ITO电阻丝进行ArH2等离子刻蚀，获得表面粗糙且富含表面缺陷的刻蚀ITO膜电阻器件； 步骤3、将刻蚀ITO膜电阻器件在空气中退火老化后冷却，制得基于刻蚀氧化铟锡膜的臭氧传感器。

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