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华海清科股份有限公司张金鑫获国家专利权

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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种电化学机械抛光头、抛光装置和抛光方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120134208B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510600889.5,技术领域涉及:B24B37/12;该发明授权一种电化学机械抛光头、抛光装置和抛光方法是由张金鑫;孟松林;王宇;张洪蛟;金军;左少杰设计研发完成,并于2025-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。

一种电化学机械抛光头、抛光装置和抛光方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种电化学机械抛光头、抛光装置和抛光方法,属于晶圆制造技术领域。该电化学机械抛光头包括:联轴盘,中心设置有定位孔;承载盘,匹配设置有轴部,所述轴部滑动连接于定位孔中,使得承载盘随联轴盘旋转和或沿竖直方向移动;导电的弹性膜,设置于承载盘下方,用于装载待处理的晶圆;保持环,设置于承载盘下方并位于弹性膜的外周侧;电连接组件,竖向设置于沿所述轴部配置的安装孔中,其一端与电源连接,另一端与所述弹性膜的中心腔室连接,使得待处理的晶圆处于弹性膜与抛光液之间形成的电场中;所述电连接组件的至少部分为柔性件,其沿竖向伸缩以适应弹性膜的变形,进而在弹性膜与抛光液之间形成稳定的电场。

本发明授权一种电化学机械抛光头、抛光装置和抛光方法在权利要求书中公布了:1.一种电化学机械抛光头,其特征在于,包括: 联轴盘,中心设置有定位孔; 承载盘,匹配设置有轴部,所述轴部滑动连接于定位孔中,使得承载盘随联轴盘旋转和或沿竖直方向移动; 导电的弹性膜,设置于承载盘下方,用于装载待处理的晶圆; 保持环,设置于承载盘下方并位于弹性膜的外周侧; 电连接组件,竖向设置于沿所述轴部配置的安装孔中,其一端与电源连接,另一端与所述弹性膜的中心腔室连接,使得待处理的晶圆处于弹性膜与抛光液之间形成的电场中; 所述电连接组件的至少部分为柔性件,其沿竖向伸缩以适应弹性膜的变形,进而在弹性膜与抛光液之间形成稳定的电场;所述电连接组件包括上导电杆和下导电杆,两者之间可拆卸地连接有弹销结构,以调整电连接组件的长度;所述弹销结构包括弹簧和销轴,两者相互卡接为一体并抵接于上导电杆及下导电杆相对面的凹槽中; 还包括防护组件,其设置于上导电杆和下导电杆的外侧,以防止液体进入电连接组件的内部;所述防护组件包括第一防护套和第二防护套,所述第一防护套设置于上导电杆的外侧,所述第二防护套设置于下导电杆的外侧。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人华海清科股份有限公司,其通讯地址为:300350 天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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