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龙图腾网获悉宇弘研科技(苏州)有限公司申请的专利一种带有吸附固定结构的晶圆定位装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120109068B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510422187.2，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种带有吸附固定结构的晶圆定位装置是由周修斌;安礼余设计研发完成，并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种带有吸附固定结构的晶圆定位装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种带有吸附固定结构的晶圆定位装置，涉及晶圆加工技术领域，包括：定位座；所述定位座上设置有通孔，通孔内通过螺母安装有中心螺杆，螺母位于定位座的下方，中心螺杆上活动有活动套，定位座上设置有三组通槽，三组通槽内均铰接有铰接板，活动套与定位座之间安装有三组一号弹簧，并且三组铰接板的上端均通过销轴与活动套连接；本发明中，转动盘上弧形阵列的六组弧形凹槽以及与之配合的嵌入块、安装块和吸盘，使得该定位装置能够通过调节嵌入块在弧形凹槽中的位置，即实现对吸盘的位置进行调整，灵活适应不同尺寸和规格的晶圆，定位座与转动盘之间通过辅助板、安装螺杆和稳定轮的设计，保证了转动盘在转动过程中的稳定性。

本发明授权一种带有吸附固定结构的晶圆定位装置在权利要求书中公布了：1.一种带有吸附固定结构的晶圆定位装置，包括：定位座（2）；其特征在于， 所述定位座（2）上设置有通孔，通孔内通过螺母安装有中心螺杆（21），螺母位于定位座（2）的下方，中心螺杆（21）上活动有活动套（22），定位座（2）上设置有三组通槽，三组通槽内均铰接有铰接板（222），活动套（22）与定位座（2）之间安装有三组一号弹簧（221），并且三组铰接板（222）的上端均通过销轴与活动套（22）连接，定位座（2）的外表面铰接有三组铰接臂（223），三组铰接臂（223）均设置为L型结构，三组铰接板（222）的下端分别与三组铰接臂（223）接触，三组铰接板（222）的上端铰接有夹紧头（23），夹紧头（23）上设置有锥形槽（231），并且夹紧头（23）上安装有定位板（24），定位板（24）上焊接有螺纹杆，螺纹杆上固定有锥齿轮（241），锥齿轮（241）与锥形槽（231）啮合，定位板（24）上的螺纹杆上套有二号弹簧（242），定位板（24）上横向设置有第一定位槽（243），定位板（24）上纵向设置有第二定位槽（244）。

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