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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利晶圆清洗装置及包括其的晶圆减薄设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119419116B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411849228.8，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权晶圆清洗装置及包括其的晶圆减薄设备是由路新春;陈铁;刘远航;王华良设计研发完成，并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆清洗装置及包括其的晶圆减薄设备在说明书摘要公布了：本发明提出了晶圆清洗装置及包括其的晶圆减薄设备。所述晶圆清洗装置包括：多个夹持转轮，其用于对待清洗的晶圆进行夹持限位；以及背部清洗滚刷总成，其包括背部清洗滚刷和背部清洗滚刷支架，所述背部清洗滚刷安装在所述背部清洗滚刷支架上，所述背部清洗滚刷支架用于支撑所述背部清洗滚刷并将所述背部清洗滚刷与所述晶圆的背部贴合，其中，所述背部清洗滚刷为经过晶圆圆心的分段式滚刷且由独立的第一滚刷半部和第二滚刷半部组成，在进行晶圆背部清洗时，所述第一滚刷半部和所述第二滚刷半部旋转方向相反。本发明适用于划切工艺后的晶圆背部清洗，能够实现对晶圆背部及清洗装置自身的清洗，减小了清洗装置自身对晶圆的损伤。

本发明授权晶圆清洗装置及包括其的晶圆减薄设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括： 多个夹持转轮，用于对待清洗的晶圆进行夹持限位； 背部清洗滚刷总成，包括背部清洗滚刷支架和安装在其上的背部清洗滚刷；所述背部清洗滚刷支架用于支撑所述背部清洗滚刷并将所述背部清洗滚刷与晶圆背部贴合；所述背部清洗滚刷为经过晶圆圆心的分段式滚刷且由独立的第一滚刷半部和第二滚刷半部组成，在进行晶圆背部清洗时，所述第一滚刷半部和所述第二滚刷半部旋转方向相反； 边缘清洗滚刷总成，包括边缘清洗滚刷支架和分别枢接在其两端的第一边缘清洗滚刷和第二边缘清洗滚刷，所述背部清洗滚刷支架和所述边缘清洗滚刷支架一体形成为交叉形状，所述第一边缘清洗滚刷和所述第二边缘清洗滚刷的夹持清洗接触点连接经过晶圆圆心；所述边缘清洗滚刷支架两端分别设有第一杠杆和第二杠杆，所述第一杠杆的上端固定所述第一边缘清洗滚刷、下端枢转连接至晶圆边缘清洗滚刷套杆的外端，所述第二杠杆的上端固定所述第二边缘清洗滚刷、下端枢转连接至晶圆边缘清洗滚刷导杆的外端，晶圆边缘清洗滚刷套杆套接晶圆边缘清洗滚刷导杆且二者能够相对运动，从而分别带动所述第一边缘清洗滚刷和所述第二边缘清洗滚刷在贴合晶圆边缘与脱离晶圆边缘之间切换； 多个夹持转轮包括安装于第一支撑横臂的第一夹持转轮和第二夹持转轮、安装于第二支撑横臂的第三夹持转轮和第四夹持转轮，第一支撑横臂和第二支撑横臂分别通过自适应扭转调节盘以能够自适应调节扭转的方式安装于第一晶圆夹持机构承载滑块和第二晶圆夹持机构承载滑块；当第一支撑横臂和第二支撑横臂移向晶圆时，一旦各个夹持转轮达到晶圆处，第一支撑横臂和第二支撑横臂自适应旋转调整使得四个夹持转轮均接合晶圆外周。

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