复远芯(上海)科技有限公司陈旭远获国家专利权
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龙图腾网获悉复远芯(上海)科技有限公司申请的专利一种压电谐振式压力传感器获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223243789U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422808676.5,技术领域涉及:G01L1/16;该实用新型一种压电谐振式压力传感器是由陈旭远;吴志鹏设计研发完成,并于2024-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种压电谐振式压力传感器在说明书摘要公布了:本申请提供一种压电谐振式压力传感器,涉及传感器技术领域,用于简化压电谐振式压力传感器的结构,减小压电谐振式压力传感器的尺寸。压电谐振式压力传感器,包括压力敏感组件和压电组件,压力敏感组件具有相对设置的第一表面和第二表面。压力敏感组件具有贯穿第二表面的压力腔,待检测压力作用于压力腔的靠近第一表面的腔壁。压电组件设置于第一表面,压电组件通过硅通孔与外部电路电连接。压电组件的四周支撑于第一表面,压电组件的中间区域悬空设置于第一表面,用于使中间区域与第一表面之间形成谐振腔。谐振腔在第二表面上的正投影与压力腔在第二表面上的正投影至少部分重叠。
本实用新型一种压电谐振式压力传感器在权利要求书中公布了:1.一种压电谐振式压力传感器,其特征在于,包括: 压力敏感组件,具有相对设置的第一表面和第二表面;所述压力敏感组件具有贯穿所述第二表面的压力腔,待检测压力作用于所述压力腔的靠近所述第一表面的腔壁; 压电组件,通过硅通孔与外部电路电连接;所述压电组件的四周支撑于所述第一表面,所述压电组件的中间区域悬空设置于所述第一表面,用于使所述中间区域与所述第一表面之间形成谐振腔;所述谐振腔在所述第二表面上的正投影与所述压力腔在所述第二表面上的正投影至少部分重叠。
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