广东惠伦晶体科技股份有限公司周雪明获国家专利权
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龙图腾网获悉广东惠伦晶体科技股份有限公司申请的专利一种用于音叉晶体生产的光刻胶涂布设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223244971U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422792915.2,技术领域涉及:G03F7/16;该实用新型一种用于音叉晶体生产的光刻胶涂布设备是由周雪明;杜自甫设计研发完成,并于2024-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于音叉晶体生产的光刻胶涂布设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及音叉晶体加工技术领域,尤其是一种用于音叉晶体生产的光刻胶涂布设备,包括光刻胶涂布机本体,所述光刻胶涂布机本体包括涂布加工室,光刻胶涂布机本体顶部的后侧安装有废气净化组件,废气净化组件包括传输管和固定框,传输管的正表面开设有进气槽,传输管的内壁螺栓安装有第二电机。本实用新型通过设置废气净化组件和涂布加工室,能够在风扇工作状态下,将涂布加工室内光刻胶涂布产生的废气吸引,废气经传输管传输至固定框内,经网孔凸板后被网孔凸板上活性炭颗粒进行吸附,并由气体浓度传感器进行实时监测,最终干净的气体排出,完成一体净化操作,无需额外搭建大型净化系统,符合多种使用需求。
本实用新型一种用于音叉晶体生产的光刻胶涂布设备在权利要求书中公布了:1.一种用于音叉晶体生产的光刻胶涂布设备,包括光刻胶涂布机本体(1),其特征在于:所述光刻胶涂布机本体(1)包括涂布加工室(3),所述光刻胶涂布机本体(1)顶部的后侧安装有废气净化组件(2),所述废气净化组件(2)包括传输管(201)和固定框(203),所述传输管(201)的正表面开设有进气槽(202),所述传输管(201)的内壁螺栓安装有第二电机(207),所述第二电机(207)的输出端固定连接有活动叶(206),所述固定框(203)的内腔从下至上依次安装有网孔凸板(212)、集气斗(211)和风扇(205),所述固定框(203)的右侧螺栓安装有第一电机(204),所述第一电机(204)的输出端固定连接有螺杆(209),所述螺杆(209)的表面螺纹套设有位移座(210),所述位移座(210)的一侧安装有活动辊(208),所述集气斗(211)的顶部分别安装有电磁阀(214)和气体浓度传感器(215)。
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