上海芯立电子科技有限公司辛奇获国家专利权
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龙图腾网获悉上海芯立电子科技有限公司申请的专利一种CVD薄膜装置检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223244404U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422719504.0，技术领域涉及：G01N21/88；该实用新型一种CVD薄膜装置检测装置是由辛奇;秦宝宏;徐锋;文冬;郭杰;闫乐成;胡凯设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种CVD薄膜装置检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种CVD薄膜装置检测装置，涉及化学气相沉积技术领域，包括覆膜台，所述覆膜台的内部环形开设有若干个覆膜槽，所述覆膜台的中心处固定安装有旋转台，所述旋转台的上方固定安装有检测组件，所述覆膜槽的上方设置有背压覆膜组件，所述检测组件包括一号电动伸缩杆，所述一号电动伸缩杆的驱动端固定连接有安装台，所述安装台的上方固定安装有工业检测摄像头。本实用新型通过使用工业检测摄像头观察背压覆膜组件中滤网的网孔是否被堵塞，被堵塞的情况下，驱动气缸驱动安装盘向下运动，通孔杆穿过滤网的网孔，将固体颗粒顶出，确保反应气体能够均匀地穿过滤网与镀件接触，使得镀件上薄膜的厚度均匀一致。
本实用新型一种CVD薄膜装置检测装置在权利要求书中公布了：1.一种CVD薄膜装置检测装置，包括覆膜台1，其特征在于：所述覆膜台1的内部环形开设有若干个覆膜槽11，所述覆膜台1的中心处固定安装有旋转台12，所述旋转台12的上方固定安装有检测组件2，所述覆膜槽11的上方设置有背压覆膜组件3，所述检测组件2包括一号电动伸缩杆21，所述一号电动伸缩杆21的驱动端固定连接有安装台22，所述安装台22的上方固定安装有工业检测摄像头23，所述背压覆膜组件3的两侧设置有二号电动伸缩杆4，两组所述二号电动伸缩杆4的驱动端分别固定安装在背压覆膜组件3的两侧。
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