研微(江苏)半导体科技有限公司严怀余获国家专利权
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龙图腾网获悉研微(江苏)半导体科技有限公司申请的专利半导体反应腔室及其止动件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223245558U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422726942.X，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型半导体反应腔室及其止动件是由严怀余;秦志坚;高培培;姜闯设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体反应腔室及其止动件在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种半导体反应腔室及其止动件，其中半导体反应腔室的下腔底壁为平壁，该止动件包括安装部和支撑部，支撑部位于安装部的上方，至少部分安装部的下表面或至少部分支撑部的下表面抵接下腔底壁，止动件的支撑部用于支撑顶针，每个止动件位于其对应的顶针下方；或者止动件包括精加工平整部，精加工平整部包括精加工平整面，且精加工平整部位于下腔底壁，止动件用于支撑顶针，每个止动件位于其对应的顶针下方。本实用新型提供的止动件可以使衬底在顶针支撑时不会出现倾斜，避免发生衬底倾覆或者碎裂的情况。
本实用新型半导体反应腔室及其止动件在权利要求书中公布了：1.一种半导体反应腔室的止动件，所述半导体反应腔室的下腔底壁为平壁，其特征在于， 所述止动件包括安装部和支撑部，所述支撑部位于所述安装部的上方，至少部分所述安装部的下表面或至少部分所述支撑部的下表面抵接所述下腔底壁，所述止动件的支撑部用于支撑顶针；每个所述止动件位于其对应的所述顶针下方。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人研微(江苏)半导体科技有限公司，其通讯地址为：214100 江苏省无锡市无锡经济开发区太湖街道震泽路688号太湖湾信息技术产业园1号楼2201-01；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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