大湾区大学(筹)郑水钦获国家专利权
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龙图腾网获悉大湾区大学(筹)申请的专利一种电子发射器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223244975U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422640140.7，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种电子发射器是由郑水钦设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电子发射器在说明书摘要公布了：本实用新型涉及电子束光刻技术领域，特别涉及一种电子发射器。所述电子发射器包括图案化光源、透镜单元和光电材料单元；图案化光源包括光源和图案发生器，透镜单元设于图案发生器与光电材料单元之间，图案发生器用于调制所述光源发出的光束；其中，光源发出的光束被图案发生器调制后，生成具有明暗变化的光学图案，光学图案在经过透镜单元放大成像后照射在光电材料单元表面以发生外光电效应，形成具有光学图案的电子束。本实用新型可以将具有光学图案的电子束送入到电子光学系统中来直接进行图案化的电子束光刻处理，而无需像现有技术中通过逐点扫描电子束的方式来进行曝光，因此本实用新型极大地提高了电子束光刻的效率。
本实用新型一种电子发射器在权利要求书中公布了：1.一种电子发射器，其特征在于，包括：图案化光源、透镜单元和光电材料单元；所述图案化光源包括光源和图案发生器，所述透镜单元设于所述图案发生器与所述光电材料单元之间，所述图案发生器用于调制所述光源发出的光束；其中，所述光源发出的光束被所述图案发生器调制后，生成具有明暗变化的光学图案，所述光学图案在经过所述透镜单元放大成像后照射在所述光电材料单元表面以发生外光电效应，形成具有所述光学图案的电子束。
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