青岛前哨精密仪器有限公司孙佳卓获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛前哨精密仪器有限公司申请的专利一种检测碳化硅Z轴的环抱式气浮工作台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223243591U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422638640.7，技术领域涉及：G01B21/00；该实用新型一种检测碳化硅Z轴的环抱式气浮工作台是由孙佳卓;梁帮远;李莹;王清斌;邵明德设计研发完成，并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种检测碳化硅Z轴的环抱式气浮工作台在说明书摘要公布了：一种检测碳化硅Z轴的环抱式气浮工作台，涉及碳化硅检测技术领域，解决现有技术中存在的需要确保检测装置的运动精度和稳定性，满足高精度检测的需求的问题。包括两组主气浮滑块和两组辅助支架，两组所述主气浮滑块和辅助支架通过连接柱依次连接；所述主气浮滑块的外侧壁连接有检测器，所述主气浮滑块的内侧壁均开设有多个正气孔和多个均压槽，所述正气孔之间开设有所述均压槽，所述主气浮滑块的内部开设有真空腔，所述真空腔中设置有负气孔，所述负气孔开设在所述主气浮滑块的内侧壁；所述辅助支架的内部均连接有多个辅助气浮垫。有益效果是：提高了悬浮的稳定性，能够辅助气浮工作台平稳运行。
本实用新型一种检测碳化硅Z轴的环抱式气浮工作台在权利要求书中公布了：1.一种检测碳化硅Z轴的环抱式气浮工作台，包括两组主气浮滑块1和两组辅助支架2，其特征是，两组所述主气浮滑块1和辅助支架2通过连接柱3依次连接，所述主气浮滑块1与所述辅助支架2相对设置；所述主气浮滑块1的外侧壁连接有检测器10，所述主气浮滑块1的内侧壁均开设有多个正气孔4和多个均压槽5，所述正气孔4之间开设有所述均压槽5，所述主气浮滑块1的内部开设有真空腔6，所述真空腔6中设置有负气孔7，所述负气孔7开设在所述主气浮滑块1的内侧壁；所述辅助支架2的内部均连接有多个辅助气浮垫8。
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