厦门市俊亦精密机械有限公司陈学亮获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门市俊亦精密机械有限公司申请的专利一种便于替换掩膜板的硅片载板获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223244968U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422564500.X，技术领域涉及：G03F1/00；该实用新型一种便于替换掩膜板的硅片载板是由陈学亮设计研发完成，并于2024-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种便于替换掩膜板的硅片载板在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种便于替换掩膜板的硅片载板，包括：板架，所述板架上阵列排布有若干个安装槽，所述安装槽内侧设有一圈用于支撑掩膜板组件的支撑部；所述掩膜板组件包括贴合于硅片两侧的上掩膜板和下掩膜板，所述板架上端面且在所述安装槽周围设有若干用于固定所述掩膜板组件的压块，所述掩膜板组件和所述压块在安装固定后，其上端面均不高于所述板架的上端面。本实用新型设置多个安装槽和压块，便于安装替换不同形状膜孔的掩膜板组件，满足实验多样性需求、提高制造效率且结构设计合理。
本实用新型一种便于替换掩膜板的硅片载板在权利要求书中公布了：1.一种便于替换掩膜板的硅片载板，其特征在于，包括： 板架1，所述板架1上阵列排布有若干个安装槽，所述安装槽内侧设有一圈用于支撑掩膜板组件2的支撑部； 所述掩膜板组件2包括贴合于硅片两侧的上掩膜板21和下掩膜板22，所述板架1上端面且在所述安装槽周围设有若干用于固定所述掩膜板组件2的压块4，所述掩膜板组件2和所述压块4在安装固定后，其上端面均不高于所述板架1的上端面。
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