广东科视光学技术股份有限公司陈志特获国家专利权
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龙图腾网获悉广东科视光学技术股份有限公司申请的专利一种高效率曝光机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223244974U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422560050.7，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种高效率曝光机是由陈志特;王华;吴中海设计研发完成，并于2024-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高效率曝光机在说明书摘要公布了：本实用新型涉及曝光机技术领域，提供一种高效率曝光机，其包括：基座；工作台，工作台安装于基座上并用于承载待曝光件；激光模块，用于发射光信号；DMD组件，用于接受光信号并经过处理再反射到镜头装置；镜头装置，用于对光信号进行投射；冷却液冷却组件，安装于DMD组件，并用于对DMD组件降温；本实用新型通过冷却液冷却组件安装于DMD组件，并与微镜芯片模块直接接触；再经冷却液控制组件控制冷却液冷却组件中冷却液的流速和或温度，使微镜芯片模块温度不超过30度，通过使微镜芯片模块在冷却液直接作用的条件下快速降温，保证微镜芯片模块不会因温度过高损坏，同时温度的降低也能使DMD模块能够承受激光照射的功率为100W‑180W，使曝光效果更好。
本实用新型一种高效率曝光机在权利要求书中公布了：1.一种高效率曝光机，其特征在于，包括： 基座； 工作台，所述工作台安装于基座上并用于承载待曝光件； 激光模块，用于发射光信号； DMD组件，用于接受光信号并经过处理再反射到镜头装置； 镜头装置，用于对光信号进行投射到所述待曝光件； 冷却液冷却组件，安装于所述DMD组件，并用于对所述DMD组件降温。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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