睿智源半导体科技(苏州)有限公司陈铁龙获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉睿智源半导体科技(苏州)有限公司申请的专利半导体晶圆制程槽的转动机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223245570U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422565857.X，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型半导体晶圆制程槽的转动机构是由陈铁龙;林智颖;程龙祥;张振;蔡翔羽设计研发完成，并于2024-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体晶圆制程槽的转动机构在说明书摘要公布了：本实用新型属于晶圆制造技术领域，公开了一种半导体晶圆制程槽的转动机构，包括支架、驱动机构以及传动机构，支架设于制程槽的外部且一侧与制程槽的外侧相连接，驱动机构架设于支架，传动机构包括传动架、主动轮和从动轮，传动架设于制程槽的内部，主动轮和从动轮上下布设且相互啮合，主动轮位于从动轮的上方，驱动机构的输出端与主动轮相连，从动轮连接有顶升机构，顶升机构用于间歇顶起位于清洗花篮中的半导体晶圆。半导体晶圆制程槽的转动机构通过在制程槽的外部架设支架，将驱动机构放置在支架上进行支撑，从而使驱动机构远离制程槽设置，确保运行过程中摩擦产生的细小颗粒不会掉落至制程槽内，降低了处理液或半导体晶圆被污染的情况发生。
本实用新型半导体晶圆制程槽的转动机构在权利要求书中公布了：1.半导体晶圆制程槽的转动机构，其特征在于，包括： 支架1，所述支架1设于制程槽的外部，所述支架1的一侧与制程槽的外侧相连接； 驱动机构2，所述驱动机构2架设于所述支架1； 传动机构3，所述传动机构3包括传动架31、主动轮32和至少一个从动轮33，所述传动架31设于制程槽的内部，所述主动轮32和所述从动轮33上下布设且相互啮合，所述主动轮32位于所述从动轮33的上方，所述驱动机构2的输出端与所述主动轮32相连，所述从动轮33连接有顶升机构4，所述顶升机构4用于间歇地顶起位于清洗花篮中的半导体晶圆。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人睿智源半导体科技(苏州)有限公司，其通讯地址为：215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇吴淞路66号A-4厂房一层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励