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龙图腾网获悉上海邦芯半导体科技有限公司申请的专利晶圆传送系统及晶圆传送方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119008484B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411471402.X，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权晶圆传送系统及晶圆传送方法是由谭小龙;涂乐义;王兆祥;梁洁;桂智谦设计研发完成，并于2024-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆传送系统及晶圆传送方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆传送系统及晶圆传送方法，能够提高传送晶圆的效率，晶圆传送系统包括：半导体设备前端模块、在周向上依次间隔设置的缓存模块、第一反应模块和第二反应模块；半导体设备前端模块包括通过转轴相连的第一机械手指和第二机械手指，第一机械手指的相对两端分别设有第一前手指和第一后手指，第二机械手指的相对两端分别设有第二前手指和第二后手指，第一机械手指和第二机械手指合指时同时实现两片晶圆的拾取，分指时同时实现两片晶圆的放置；缓存模块用以缓存晶圆，第一反应模块包括两个第一反应腔室，第二反应模块包括两个第二反应腔室；晶圆传送系统还包括晶圆冷却台，所述晶圆冷却台位于所述第二反应模块与缓存模块之间。

本发明授权晶圆传送系统及晶圆传送方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传送系统，其特征在于，包括：半导体设备前端模块、在周向上环绕所述半 导体设备前端模块且依次间隔设置的缓存模块、第一反应模块和第二反应模块； 所述半导体设备前端模块包括机械臂，所述机械臂包括通过转轴相连的第一机械手指和第二机械手指，第一机械手指位于上层，所述第二机械手指位于下层，所述第一机械手指的相对两端分别设有第一前手指和第一后手指，所述第二机械手指的相对两端分别设有第二前手指和第二后手指，所述第一机械手指和所述第二机械手指合指时同时实现两片晶圆的拾取，分指时同时实现两片晶圆的放置； 所述缓存模块用以缓存晶圆，所述第一反应模块包括两个第一反应腔室，所述第二反应模块包括两个第二反应腔室； 所述晶圆传送系统还包括晶圆冷却台，所述晶圆冷却台位于所述第二反应模块与缓存模块之间； 所述机械臂还包括升降轴、设置于所述升降轴且能够沿在水平面内转动的水平驱动轴，所述转轴与所述水平驱动轴相连，所述第一机械手指和所述第二机械手指在所述水平驱动轴控制下合指或分指；所述水平驱动轴包括第一转臂和第二转臂；所述升降轴带动机械手指升降，从而能够拾取不同高度的晶圆； 晶圆控制系统包括如下步骤： S1：控制所述第一前手指和所述第二前手指同时从所述缓存模块中拾取晶圆；具体地，第一机械手指和第二机械手指合指、第一前手指和第二前手指转动至朝向从缓存模块这两个动作同时进行； S2：控制所述第一后手指和所述第二后手指同时从所述缓存模块中拾取晶圆； S3：控制所述第一前手指和所述第二前手指分别将晶圆一一对应地放置到两第一反应腔室中后从第一反应腔室中退出；控制第一机械手指和第二机械手指分指，且第一前手指和第二前手指转动至朝向第一反应模块，第一前手指和第二前手指与两个第一反应腔室一一对应；并且，第一机械手指和第二机械手指分指、且第一前手指和第二前手指转动至朝向第一反应模块同步进行； S4：控制所述第一后手指和所述第二后手指分别将晶圆一一对应地放置到两第二反应腔室中后从第二反应腔室中退出；第一后手指和第二后手指转动至朝向第二反应模块，第一后手指和第二后手指与两个第二反应腔室一一对应；此过程中，第一后手指和第二后手指仅需要转动90度即可，无需重新分指； S5：控制所述第一前手指和所述第二前手指再次同时从所述缓存模块中拾取晶圆；具体地，第一机械手指和第二机械手指合指、第一前手指和第二前手指转动至朝向从缓存模块这两个动作同时进行； S6：控制所述第一后手指和所述第二后手指移动至第一反应腔室和第二反应腔室中将首先完成作业的腔室外； S7：控制从所述首先完成作业的腔室中将处理后的晶圆取出，并控制所述第一前手指和所述第二前手指再次放置晶圆； S8：控制所述第一后手指和所述第二后手指将处理后的晶圆在所述晶圆冷却台上； S9、控制所述第一前手指和所述第二前手指在合指状态下拾取冷却后的晶圆并放置到所述缓存模块中，或控制所述第一后手指和所述第二后手指合在合指状态下拾取冷却后的晶圆并放置到所述缓存模块中。

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