北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司侯爽获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利一种混气结构和匀气装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223240160U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422557918.8，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种混气结构和匀气装置是由侯爽;张韩;翟冬梅;杨翰超;宋勃宏设计研发完成，并于2024-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种混气结构和匀气装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种混气结构和匀气装置，混气结构包括壳体和混气部；混气部位于壳体内，混气部和壳体之间形成进气腔；壳体设置有若干进气口；混气部包括管壁和由管壁围合成的混合腔，混气部管壁设置有通孔；气体自进气口进入进气腔后，通过管壁的通孔进入混合腔混合。本申请提供的匀气装置包括腔室和上述混气结构，混气结构位于腔室顶部，混气结构的混气部伸出壳体并通过腔室顶部延伸至腔室内，气体进入混气结构后经混气部混气后进入腔室。本申请的混气结构和匀气装置能够提高混气均匀性，使晶圆上的膜层生长连续均匀，提高了成膜的均匀性。
本实用新型一种混气结构和匀气装置在权利要求书中公布了：1.一种混气结构，其特征在于，包括壳体和混气部；所述混气部位于所述壳体内，所述混气部和所述壳体之间形成进气腔；所述壳体设置有若干进气口；所述混气部包括管壁和由所述管壁围合成的混合腔，所述混气部管壁设置有通孔；气体自所述进气口进入所述进气腔后，通过所述管壁的通孔进入所述混合腔混合。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道18号9幢一层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励