买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉迈睿捷(南京)半导体科技有限公司申请的专利一种新型环状可调节式射频线圈装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119517717B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411463936.8，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种新型环状可调节式射频线圈装置是由金天明;刘坤设计研发完成，并于2024-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种新型环状可调节式射频线圈装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种新型环状可调节式射频线圈装置，属于等离子体刻蚀机设备技术领域，本发明包括等离子体刻蚀机，所述等离子体刻蚀机的内部设置有腔室，所述腔室的内部设置有线圈调节机构，所述等离子体刻蚀机的一侧安装有射频电源，所述线圈调节机构包括线圈本体，所述线圈本体一侧的外周固定安装有凸块，所述凸块的一端固定安装有第一导电连接弹簧，所述线圈本体的外周还固定安装有射频线圈固定点，线圈本体可以设置有多组，本发明展示为四组设置，多个线圈本体共同组合成环形结构，相邻线圈本体之间开设有缺口，在未完全闭合处外部增加了线圈补偿区域，从而来弥补缺口处无法形成或形成较弱电磁场的现象。

本发明授权一种新型环状可调节式射频线圈装置在权利要求书中公布了：1.一种新型环状可调节式射频线圈装置，包括等离子体刻蚀机（1），所述等离子体刻蚀机（1）的内部设置有腔室（11），所述腔室（11）的外部设置有线圈调节机构（7），所述等离子体刻蚀机（1）的一侧安装有射频电源（2），其特征在于，所述线圈调节机构（7）包括线圈本体（71），所述线圈本体（71）设置有多组，多个所述线圈本体（71）共同组合成环形结构，所述线圈本体（71）一侧的外周固定安装有凸块（72），所述凸块（72）的一端固定安装有第一导电连接弹簧（73），所述线圈本体（71）的外周还固定安装有射频线圈固定点（74），所述射频线圈固定点（74）的一侧安装有第一调节把手（75），所述第一调节把手（75）上还安装有支撑固定片（76），所述射频电源（2）和所述线圈调节机构（7）之间共同连接有安装机构（8）； 所述线圈本体（71）的一端还固定安装有卡接槽（711），所述线圈本体（71）远离所述卡接槽（711）的一端固定安装有卡接块（712），所述卡接块（712）和所述卡接槽（711）相适配。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人迈睿捷(南京)半导体科技有限公司，其通讯地址为：211806 江苏省南京市浦口区桥林街道兰新路19号瑞创智造园14号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。