北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司张韩获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利一种晶圆摆正装置和晶圆电镀机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223240198U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422544024.5，技术领域涉及：C25D17/06；该实用新型一种晶圆摆正装置和晶圆电镀机台是由张韩;杨翰超;翟冬梅;宋勃宏;侯爽设计研发完成，并于2024-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆摆正装置和晶圆电镀机台在说明书摘要公布了：本申请提供一种晶圆摆正装置和晶圆电镀机台，用于电镀时将晶圆送入电镀液。晶圆摆正装置包括晶圆夹组件、角度驱动单元和支撑板，晶圆夹组件被固定安装在角度驱动单元上，角度驱动单元被安装在支撑板上；其中，被晶圆夹组件持有的晶圆直径一端为基准点，角度驱动单元驱动晶圆夹组件以基准点所在的晶圆切线为轴心转动，改变晶圆与水平面之间的角度。晶圆电镀机台包括前述晶圆摆正装置。本申请的晶圆摆正装置在晶圆摆正的过程中减少气泡的产生，从而减少电镀过程中由气泡导致的镀层损坏造成的工艺缺陷。
本实用新型一种晶圆摆正装置和晶圆电镀机台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆摆正装置，用于电镀时将晶圆送入电镀液，其特征在于，包括晶圆夹组件、角度驱动单元和支撑板，所述晶圆夹组件被固定安装在所述角度驱动单元上，所述角度驱动单元被安装在所述支撑板上； 其中，被所述晶圆夹组件持有的晶圆直径一端为基准点，所述角度驱动单元驱动所述晶圆夹组件以所述基准点所在的晶圆切线为轴心转动，改变所述晶圆与水平面之间的角度。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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