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杭州众能光电科技有限公司李云飞获国家专利权

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龙图腾网获悉杭州众能光电科技有限公司申请的专利一种方便换料且快速加热的蒸发装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223240151U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422538345.4,技术领域涉及:C23C14/26;该实用新型一种方便换料且快速加热的蒸发装置是由李云飞;郭静;钟欣;赵喜冬;莫佳彬;尧辉龙;刘豪栋;安文珍;邓士锋;石磊设计研发完成,并于2024-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。

一种方便换料且快速加热的蒸发装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种方便换料且快速加热的蒸发装置,涉及半导体技术领域。方便换料且快速加热的蒸发装置包括箱体、蒸发件以及加热件,蒸发件设置于箱体内;通过将基材放置于箱体的封闭内部,蒸发件的内部用于容置镀膜材料,通过加热件对蒸发件进行加热,以使蒸发件内的镀膜材料受热蒸发以均匀沉积在基材上;而通过呈盘旋状的加热件绕设在蒸发件外,可以使得加热件相对蒸发件分布更加均匀,从而使得蒸发件及位于蒸发件内的镀膜材料均匀加热,以此有效提高镀膜质量;通过将均匀板设置在蒸发件上,达到防止镀膜材料飞溅的目的,避免基膜造成损伤,提高产品良率和生产效率;而在箱体设置开口,以便于操作人员加入基材及镀膜材料,以实现快速换料。

本实用新型一种方便换料且快速加热的蒸发装置在权利要求书中公布了:1.一种方便换料且快速加热的蒸发装置,其特征在于,包括: 箱体,所述箱体设置有腔体和开口; 蒸发件,所述蒸发件设置于所述箱体的腔体内,所述蒸发件用于容置镀膜材料; 加热件,所述加热件设置于所述箱体的腔体,所述加热件为管道结构,所述加热件沿着所述蒸发件的外壁在竖直方向上螺旋延伸,以呈盘旋状绕设于所述蒸发件的外壁,所述加热件用于加热容置于所述蒸发件内的镀膜材料; 门体,所述门体设置于所述开口,用于打开或封闭开口; 均匀板,所述均匀板设置于所述蒸发件,所述均匀板用于防止所述镀膜材料飞溅。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人杭州众能光电科技有限公司,其通讯地址为:310000 浙江省杭州市钱塘新区白杨街道22号大街22号2幢1201室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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