山东中晶芯源半导体科技有限公司李云通获国家专利权
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龙图腾网获悉山东中晶芯源半导体科技有限公司申请的专利一种用于碳化硅长晶坩埚或保温件的位置调节装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223240212U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422443384.6,技术领域涉及:C30B29/36;该实用新型一种用于碳化硅长晶坩埚或保温件的位置调节装置是由李云通;姬长来;张瑞麟;王众孚设计研发完成,并于2024-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于碳化硅长晶坩埚或保温件的位置调节装置在说明书摘要公布了:本申请实施例提供一种用于碳化硅长晶坩埚或保温件的位置调节装置,涉及碳化硅半导体制备技术领域,装置包括操作部件、连接部件、夹持部件,操作部件包括固定盘;固定盘有操作件和多个激光测距传感器;操作件上设有与激光测距传感器电连接的第一开关;夹持部件包括上保护板以及与上保护板活动连接的至少两个夹持件;上保护板与连接部件远离操作部件的一端固连;操作件上还设有第二开关;第二开关通过连接组件耦接夹持件,用于控制至少两个夹持件向内移动以夹持坩埚或保温件,或向外移动以松开坩埚或保温件。本申请通过调中测距和传动夹紧装置的联动,实现操作人员对坩埚、保温件抓拿取放操作的稳定优化,以及对坩埚、保温件居中操作的误差控制。
本实用新型一种用于碳化硅长晶坩埚或保温件的位置调节装置在权利要求书中公布了:1.一种用于碳化硅长晶坩埚或保温件的位置调节装置,其特征在于,包括操作部件1;所述操作部件1通过连接部件2连接有夹持部件3,其中, 所述操作部件1包括固定盘11;所述固定盘11远离夹持部件3的一侧设有操作件12;所述固定盘11的周侧均布有多个激光测距传感器13;所述操作件12上设有与所述激光测距传感器13电连接的第一开关14; 所述夹持部件3包括上保护板31以及与上保护板31活动连接的至少两个夹持件32;所述上保护板31与所述连接部件2远离所述操作部件1的一端固连; 所述操作件12上还设有第二开关15;所述第二开关15通过连接组件耦接所述夹持件32,用于控制至少两个所述夹持件32向内移动以夹持坩埚或保温件,或者,向外移动以松开坩埚或保温件。
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