无锡尚积半导体科技股份有限公司范雄获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡尚积半导体科技股份有限公司申请的专利一种自动送片机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223245579U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422390528.6，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种自动送片机构是由范雄;王兆丰;韩超然;王世宽设计研发完成，并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种自动送片机构在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种自动送片机构，涉及刻蚀技术领域，包括并排设置的真空传输腔和真空工艺腔，真空传输腔的内部设有可左右水平移动的真空传输手指，真空传输腔的前侧设有可前后水平移动、旋转以及垂直升降的大气传输手指，真空传输手指和大气传输手指用于平稳承载晶圆，真空工艺腔内设有用于承载晶圆的载片台；其中，大气传输手指用于从晶圆盒中取出晶圆并转移至真空传输手指上，真空传输手指用于将大气传输手指转移的晶圆传输至真空工艺腔的载片台上。本申请通过大气传输手指和真空传输手指的配合，实现了晶圆的取放片，在保证精准操作的同时，省去了机械手的采购，大幅缩减生产成本。
本实用新型一种自动送片机构在权利要求书中公布了：1.一种自动送片机构，其特征在于，包括并排设置的真空传输腔（1）和真空工艺腔（2），所述真空传输腔（1）的内部设有可左右水平移动的真空传输手指（3），真空传输腔（1）的前侧设有可前后水平移动、旋转以及垂直升降的大气传输手指（4），所述真空传输手指（3）和大气传输手指（4）用于平稳承载晶圆（5），所述真空工艺腔（2）内设有用于承载晶圆（5）的载片台（6）；其中，大气传输手指（4）用于从晶圆盒（7）中取出晶圆（5）并转移至真空传输手指（3）上，真空传输手指（3）用于将大气传输手指（4）转移的晶圆（5）传输至真空工艺腔（2）的载片台（6）上；当大气传输手指（4）置于真空传输手指（3）的正上方时，大气传输手指（4）的垂直升降运动与真空传输手指（3）互不干涉。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡尚积半导体科技股份有限公司，其通讯地址为：214142 江苏省无锡市新吴区长江南路35-312号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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