创微微电子(常州)有限公司左国军获国家专利权
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龙图腾网获悉创微微电子(常州)有限公司申请的专利晶圆清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223245565U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422371648.1，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型晶圆清洗装置是由左国军;庄海云;朱烨明;陈珊设计研发完成，并于2024-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆清洗装置。本实用新型在每个清洗仓设置第一排气组件和第二排气组件，分别用于排放清洗后产生的气体，可以使清洗仓内清洗晶圆后产生的不同的气体从不同的排气组件排出，例如产生酸性气体时从第一排气组件排出，产生碱性气体时从第二排气组件排出，防止清洗晶圆产生的气体都从一个排气口组件排出产生化学反应生成毒气体或者发生化学反应造成危险或者清洗失败。
本实用新型晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括： 外壳，所述外壳内通过隔板分为多个清洗仓，每个所述清洗仓均设有第一排气组件和第二排气组件，分别用于排放清洗后的产生的气体； 清洗槽，每个所述清洗仓内设有一个清洗槽，所述清洗槽顶端未封闭，所述清洗槽用于盛放清洗药液，所述清洗槽的侧壁设有缺口； 导流板，所述导流板设置在所述清洗槽的缺口处沿所述外壳向外延伸； 溢流槽组，所述溢流槽组对应所述导流板的位置设置，所述清洗槽内的清洗药液超过所述缺口处的部分，通过所述导流板将所述清洗药液导向所述溢流槽组； 回收管组，所述回收管组与所述溢流槽组连接用于回收所述溢流槽组内的清洗药液。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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