创微微电子(常州)有限公司左国军获国家专利权
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龙图腾网获悉创微微电子(常州)有限公司申请的专利晶圆对齐装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223245583U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422371650.9,技术领域涉及:H01L21/68;该实用新型晶圆对齐装置是由左国军;饶相松;庄海云;李雄朋设计研发完成,并于2024-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆对齐装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆对齐装置,通过第一支撑转轴与限位转轴配合支撑缺口未卡住限位转轴的晶圆,限位转轴转动,带动未卡住限位转轴的晶圆转动,使晶圆的一侧降低,然后第二支撑转轴与限位转轴配合支撑缺口卡住限位转轴的晶圆,缺口卡住限位转轴的晶圆不再转动,缺口未卡住限位转轴的晶圆继续转动直至晶圆的缺口卡住限位转轴,使晶圆的缺口在同一水平面对齐,大大提高了晶圆对齐的效率。
本实用新型晶圆对齐装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆对齐装置,其特征在于,包括: 驱动模组,其设置在相互平行的多片晶圆的下方,包括与所述晶圆的缺口形状相匹配的限位转轴5和设置在限位转轴5下方通过摩擦驱动所述限位转轴5转动的驱动转轴4; 第一支撑模组,包括至少一条第一支撑转轴1,当所述晶圆的缺口未卡住所述限位转轴5时,所述第一支撑转轴1与所述限位转轴5共同支撑所述晶圆; 第二支撑模组,包括至少一条第二支撑转轴2,当所述晶圆的缺口卡住所述限位转轴5时,所述第二支撑转轴2与所述限位转轴5共同支撑所述晶圆。
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