中环领先半导体科技股份有限公司罗峻桂获国家专利权
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龙图腾网获悉中环领先半导体科技股份有限公司申请的专利一种用于抛光下料片篮存放的水箱式电子货架获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223238501U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422349642.4,技术领域涉及:B65D61/00;该实用新型一种用于抛光下料片篮存放的水箱式电子货架是由罗峻桂;白苏宁;孙同同;蒋欢;曹锦伟设计研发完成,并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于抛光下料片篮存放的水箱式电子货架在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种用于抛光下料片篮存放的水箱式电子货架,用于半导体硅片制造技术领域;包括架体、水槽、水循环系统和控制系统,其中架体上部设有若干独立的水槽,水槽内预设有空载水位和溢流水位,并设有若干用于放置片篮的卡座;水循环系统与水槽连通,用于向水槽内注入液体或排出液体;控制系统与水循环系统电连接,包括光电传感器和光纤传感器,用于使水槽内的液面高度处于空载水位或溢流水位。本实用新型的有益效果是可存储多个片篮,占用空间小;每个水槽均可独立运行,能够满足不同情况下硅片的存储需求;实现了对水槽内液面高度的全自动化控制,连动迅速,控制精准。
本实用新型一种用于抛光下料片篮存放的水箱式电子货架在权利要求书中公布了:1.一种用于抛光下料片篮存放的水箱式电子货架,其特征在于,包括: 架体,所述架体上部设有若干独立的水槽,所述水槽内预设有空载水位和溢流水位,并设有若干用于放置片篮的卡座; 水循环系统,与所述水槽连通,用于向所述水槽内注入液体或排出所述液体;控制系统,与所述水循环系统电连接,用于使水槽内的液面高度处于所述空载水位或所述溢流水位。
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